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SJ6000激光干涉儀可以對(duì)機(jī)床的什么參數(shù)進(jìn)行測(cè)量?

中圖儀器 ? 2023-01-12 15:12 ? 次閱讀
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SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

poYBAGO-ZpGAWHVcAAWZqlPp_94846.png對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn)poYBAGKm18qAcZqjAAIxfP-yrwY909.jpg斜床的傾斜軸測(cè)量poYBAGJnwE-AacrAAAQNxg0_BZs191.jpg測(cè)量機(jī)床直線度poYBAGJnwpyAX7JUAAR-XbpF-nU548.jpg測(cè)量機(jī)床偏擺角度

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