隨著太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對太陽能電池質(zhì)量要求越來越高，這其中柵線質(zhì)量、單晶硅絨面質(zhì)量十分關(guān)鍵，如何快速高效檢測相關(guān)參數(shù)成為行業(yè)關(guān)注重點(diǎn)。

VT600激光掃描聚焦顯微鏡是中圖儀器推出的一款全新的微觀3D測量儀器，能夠?qū)μ柲茈姵仄⒂^結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維形貌重建。具有測量精度高、全自動(dòng)化、快速測量、處理數(shù)據(jù)便捷等優(yōu)點(diǎn)。

在太陽能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進(jìn)行快速檢測，軟件具備對視場內(nèi)的柵線自動(dòng)測量功能，能夠?qū)呙璜@取的三維輪廓進(jìn)行多剖面分析，計(jì)算出每個(gè)剖面的柵線高度及寬度尺寸。

此外，太陽能電池制作過程中，制絨作為關(guān)鍵核心工藝，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影響減反射陷光效果，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動(dòng)獲取絨面上每個(gè)金字塔的體積，比表面積等信息，計(jì)算出單位面積金字塔數(shù)量和不同尺寸金字塔的比例。

VT600激光掃描聚焦顯微鏡是一款可以為太陽能行業(yè)實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)過程檢測需求服務(wù)的高性能檢測設(shè)備，提供從二維到三維的多尺度檢測手段，將會(huì)在太陽能電池加工過程中發(fā)揮越來越重要的作用。