北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺，采用無磁材料制成，采用亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間多維磁場。線圈可采用自然冷卻（磁場較?。┗蛩浣Y(jié)構(gòu)（磁場較大），標(biāo)配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

技術(shù)指標(biāo)：

型號：T8-500-3

材質(zhì)：所選材料均為無磁材質(zhì)

磁場范圍：500Gs

線圈材質(zhì)：耐高溫漆包線

磁場均勻性：中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%

電源穩(wěn)定性：三臺高精度直流電源50ppm可選10ppm

磁場分辨率：0.05 mT

角度分辨率：0.02°

樣品固定方式：吸盤或者壓片

樣品臺直徑：50mm可定制

顯微鏡：X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光

放大倍數(shù)：16~100X/20~4000X

探針臂數(shù)量：2、4可選

探針臂行程：25mm-25mm-12mm可更換

探針臂移動精度：10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

探針長度：38mm

探針直徑：0.51mm

針尖直徑：10μm/5μm/1μm

探針材料：鎢/鈹銅/GGB

漏電精度：100fA

審核編輯 黃宇