對于生命科學(xué)和材料科學(xué)的研究人員來說，一個可以提供超高亮度和寬帶光譜的光源是必不可少的。以前，為了達到寬光譜的需要，多采用復(fù)合光源的方式，將氘燈、氙燈、鹵鎢等等等集成在一起作為燈組來使用。但是,集成這些燈來實現(xiàn)寬光譜的燈組極大地增加了成本,影響了使用效率。這些傳統(tǒng)的使用電極驅(qū)動的燈源, 由于高溫的燒蝕，燈的壽命很短，需要經(jīng)常更換燈泡。為了解決燈泡壽命過短的問題，Energetiq公司創(chuàng)造性地研發(fā)了激光驅(qū)動等離子體氣體發(fā)光的技術(shù)，即激光驅(qū)動光源技術(shù)(LDLS?=Laser-Driven Light Source)。這個技術(shù)不但解決了燈泡壽命短的問題，還同時大幅提高了氣體燃燒溫度，從而輸出光譜范圍拓展到170nm 到2100nm ，輻射亮度和穩(wěn)定度也極大提升，使LDLS光源成為傳統(tǒng)電極驅(qū)動燈組光源的完美替代品。

激光驅(qū)動白光光源(Laser Driven Light Source)，簡稱LDLS，是一款利用高能聚焦激光束來驅(qū)動氙等離子體的超高亮寬光譜光源。該系列產(chǎn)品不僅可以在170 nm至2100 nm的光譜范圍內(nèi)提供超高發(fā)光亮度，比如在DUV的亮度就是傳統(tǒng)光源如氙燈的10倍以上，而且整個光源的發(fā)光壽命相比較于傳統(tǒng)光源也高出了整整一個數(shù)量級(>9000 h)。

圖2 LDLS及相關(guān)模塊化產(chǎn)品一覽

根據(jù)使用環(huán)境和輸出功率的不同需求，可以選擇不同型號的LDLS光源進行匹配。其中，LDLS光源提供自由空間輸出或光纖耦合輸出的緊湊型EQ-99系列、自由空間輸出的EQ-9系列、高亮度自由空間輸出的EQ-77系列、高功率應(yīng)用的超高亮度EQ-400系列。(見表2)

表2 LDLS光源主要產(chǎn)品

此外還提供高亮度輸出波長可調(diào)窄光譜LDTLS系列(見表3)，以及2022年還發(fā)布了新的可以精準(zhǔn)控制輸出光譜特性的CES光源(Chromatiq Spectral EngineTM)點擊此處可了解該產(chǎn)品。

表3 LDTLS系列光源主要產(chǎn)品