華瑞微電子科技榮獲離子注入機專利
滁州華瑞微電子科技成功獲批一項名為“一種用于集成電路生產(chǎn)線的離子注入機”的專利，專利號CN117594405B，授權(quán)公布日期為2024年5月17日，申請時間是2023年11月20日。
該專利揭示了一款專用于集成電路生產(chǎn)線的離子注入機，屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該設(shè)備主要由支撐框架、離子注入機構(gòu)、照射箱組件和擾流機構(gòu)組成，同時配備吸塵除塵組件。通過優(yōu)化照射箱組件并內(nèi)置吸塵除塵組件，采用帶有不干膠的彈性膜與擾流機構(gòu)相結(jié)合，有效地減少了照射箱內(nèi)的顆粒物，防止其影響離子的照射路徑。
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