利用超聲諧振驅(qū)動原理的壓電馬達，其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，使其能產(chǎn)生超聲波頻率的機械振動，再通過摩擦驅(qū)動的結(jié)構(gòu)設(shè)計，從而驅(qū)動移動臺做旋轉(zhuǎn)運動或直線運動。

超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動，因此超聲壓電馬達具有噪聲小的特點。此外，它還具有結(jié)構(gòu)小，響應(yīng)速度快，可斷電自鎖等優(yōu)點。在精密加工測量儀器、半導(dǎo)體加工設(shè)備、醫(yī)療、航空航天等高技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。

不同壓電馬達的運動原理

芯明天超聲諧振驅(qū)動壓電馬達

（1）N59系列直線壓電馬達

產(chǎn)品外觀

產(chǎn)品特點

? 一維X向運動

? 速度達25mm/s

? 分辨率達50nm

? 斷電自鎖

應(yīng)用

? 光學儀器領(lǐng)域

? 精密儀器領(lǐng)域

? 醫(yī)療器械

? 微劑量注射器

? 小負載、大行程納米定位

? 科學研究

? 光纖對接

? 微細加工

? 原子力顯微鏡

? 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等

技術(shù)參數(shù)

（2）N69系列旋轉(zhuǎn)壓電馬達

產(chǎn)品外觀

產(chǎn)品特點

? 360°雙向旋轉(zhuǎn)運動

? 速度可達220rpm

? 斷電自鎖

? 真空版本可選

應(yīng)用

? 光學儀器領(lǐng)域

? 精密儀器領(lǐng)域

? 醫(yī)療器械

? 微劑量注射器

? 半導(dǎo)體技術(shù)

? 圖像處理

? 納米計量

? 光學儀器設(shè)備制造

? 干涉儀等

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達，單通道開環(huán)驅(qū)動，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號控制，操作更便捷，小體積設(shè)計更易集成。

審核編輯 黃宇