射頻VI功率計(jì)（VI Power Sensor）是一款實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)射頻電源信號(hào)的電壓、電流、功率、反射和阻抗等參數(shù)的儀器，具有1%的極高的精度和多種功能。可用于射頻電源和自動(dòng)匹配器及等離子體的相關(guān)測(cè)試。射頻VI功率計(jì)配備L29的接口，并可以轉(zhuǎn)接N等多重不同形式的接口。

支持13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz頻率信號(hào)的測(cè)量

支持大功率射頻信號(hào)的測(cè)量，最高功率可達(dá)12kW

經(jīng)過(guò)高精度的校準(zhǔn)，可精確測(cè)量50歐及非50歐的負(fù)載

可實(shí)時(shí)顯示射頻信號(hào)的正向功率、反射功率、電壓、電流、負(fù)載阻抗等參數(shù)的曲線

實(shí)時(shí)模式最小采樣周期可達(dá)20us，最大采樣周期可達(dá)1s

高速模式最小采樣周期可達(dá)1us，可觀察脈沖信號(hào)、電弧放電時(shí)信號(hào)的變化細(xì)節(jié)

可實(shí)時(shí)在史密斯圓圖顯示阻抗值及變化軌跡，精度可媲美離線矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

具備Ethnet網(wǎng)絡(luò)接口和RS485通信接口，便于系統(tǒng)集成

應(yīng)用方式

審核編輯 黃宇