6月30日，央視《經(jīng)濟(jì)半小時(shí)》以【小米3納米答卷的背后】為主題，報(bào)道了國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體芯片企業(yè)，其中包括MEMS傳感器芯片龍頭敏芯股份、蘇州納米城MEMS中試平臺(tái)等。一起來(lái)看

蘇州培風(fēng)圖南半導(dǎo)體有限公司

是為晶圓廠提供生產(chǎn)制造全流程的

電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件廠商

其自主研發(fā)的三維工藝與器件仿真軟件

剛剛進(jìn)入3納米先進(jìn)制程的適配測(cè)試階段

公司工程師顧朝橋表示，這是公司開(kāi)發(fā)的器件仿真軟件，比如，我現(xiàn)在跑的這款是一個(gè)一個(gè)邏輯器件，在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行實(shí)際流片可能是幾個(gè)月，在我的軟件上從頭到尾（仿真）一遍，可能就要10來(lái)分鐘就可以了。

屏幕上的仿真演示

是這家民營(yíng)企業(yè)在芯片研制領(lǐng)域

將近20年探索的一個(gè)階段性成果

2007年這家公司剛剛創(chuàng)立時(shí)

國(guó)內(nèi)在先進(jìn)制程芯片設(shè)計(jì)軟件領(lǐng)域

幾乎一片空白

公司創(chuàng)始人貢頂選擇摸著石頭過(guò)河，先后經(jīng)歷了十多個(gè)版本的迭代，終于和團(tuán)隊(duì)研發(fā)出了這套用于先進(jìn)制程芯片制造的仿真軟件。

當(dāng)他揣著自己辛苦研發(fā)的產(chǎn)品向晶圓廠推銷時(shí)，卻被潑了一盆冷水。即使要支付國(guó)際巨頭高昂授權(quán)費(fèi)用，大多數(shù)晶圓廠也不愿輕易采用國(guó)內(nèi)民營(yíng)企業(yè)自主研制的設(shè)計(jì)軟件。

轉(zhuǎn)機(jī)發(fā)生在2022年

美國(guó)對(duì)先進(jìn)制程的電子設(shè)計(jì)

自動(dòng)化軟件實(shí)施出口禁令

迫使長(zhǎng)期依賴進(jìn)口工具的晶圓廠

開(kāi)始試水國(guó)產(chǎn)設(shè)計(jì)軟件

晶圓廠愿意接納只是一個(gè)開(kāi)始

性能到底可不可靠

才是能讓晶圓廠用腳投票的關(guān)鍵

貢頂?shù)膱F(tuán)隊(duì)還在不斷

向更先進(jìn)的工藝制程發(fā)起沖擊

在蘇州工業(yè)園區(qū)

除了芯片設(shè)計(jì)

還聚集了從事晶圓制造

芯片封裝測(cè)試等一批民營(yíng)企業(yè)

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

聲學(xué)實(shí)驗(yàn)室里

工作人員正在對(duì)一款

微型麥克風(fēng)進(jìn)行性能測(cè)試

麥克風(fēng)的任務(wù)

是將人耳聽(tīng)到的聲音精準(zhǔn)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)

而實(shí)現(xiàn)這一功能的關(guān)鍵

是一顆靈敏穩(wěn)定的聲學(xué)傳感器

公司質(zhì)量經(jīng)理朱啟發(fā)表示，這款產(chǎn)品最終的話主要是用在一些比如說(shuō)智能手機(jī)，然后還有一些比如說(shuō)降噪耳機(jī)，還有車載的一些降噪系統(tǒng)這樣一些應(yīng)用，我們最關(guān)鍵的有一顆機(jī)械芯片是MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）芯片，是我們有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的自己設(shè)計(jì)的。

MEMS芯片只有微米級(jí)大小

卻能實(shí)現(xiàn)對(duì)聲音、壓力、溫度等

信號(hào)的高精度捕捉

它是在怎樣的環(huán)境中被生產(chǎn)出來(lái)的呢？

公司創(chuàng)始人李剛表示，這個(gè)是我們最先進(jìn)的一個(gè)百級(jí)超凈間，通常在傳統(tǒng)封裝廠里一般的萬(wàn)級(jí)的一個(gè)封裝車間。因?yàn)槲覀兎庋b的是MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）麥克風(fēng)，其實(shí)它的封裝過(guò)程中它是對(duì)我們的顆粒是比較敏感的，它會(huì)導(dǎo)致失效，所以我們必須要把超精尖的等級(jí)提的就是非常高。

過(guò)去很長(zhǎng)一段時(shí)間

搭載MEMS芯片的傳感器核心技術(shù)

都被國(guó)際巨頭壟斷

中國(guó)企業(yè)只能參與部分環(huán)節(jié)的代工

設(shè)計(jì)、制造都受制于人

2006年

李剛團(tuán)隊(duì)嘗試自主研發(fā)MEMS傳感器

雖然初期做出了一些性能合格的樣品

但真正面臨產(chǎn)業(yè)化時(shí)

困難接踵而至

李剛表示，第一個(gè)就是資金的問(wèn)題，你要做量產(chǎn)，它的資金量還是比較大的。第二個(gè)問(wèn)題其實(shí)就是產(chǎn)業(yè)鏈的問(wèn)題，就是國(guó)內(nèi)那時(shí)候MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）產(chǎn)業(yè)還沒(méi)有一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)鏈。

對(duì)于初創(chuàng)企業(yè)來(lái)說(shuō)

這是一道很難逾越的門檻

既沒(méi)有足夠資金投入建設(shè)中試產(chǎn)線

又難以從一次次試錯(cuò)中摸索出可行路徑

如何才能幫助力量相對(duì)薄弱的民營(yíng)企業(yè)

跨越“從樣品到量產(chǎn)”的“死亡之谷”呢？

蘇州納米城MEMS研發(fā)中試平臺(tái)

離子刻蝕機(jī)正對(duì)6英寸硅片進(jìn)行微米級(jí)加工

這條5200平方米百級(jí)潔凈車間

配備五大工藝平臺(tái)的中試線

蘇州納米城MEMS中試平臺(tái)黃光蝕刻經(jīng)理顧炳曉表示，這些盒子裝的都是我們很多客戶在我們這邊小規(guī)模流片的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）產(chǎn)品，客戶把產(chǎn)品送過(guò)來(lái)，我們是經(jīng)過(guò)整個(gè)產(chǎn)品的一套工藝流程，大概有上百步的一個(gè)工藝加工工序，這兩片產(chǎn)品是我們的一個(gè)典型的6寸的一個(gè)壓力傳感器的芯片，我們可以看到上面有加工了很多成千上萬(wàn)顆一個(gè)芯片。

蘇州納米城MEMS中試平臺(tái)生產(chǎn)業(yè)務(wù)經(jīng)理王輝表示，芯片制造環(huán)節(jié)前期投入比較大，后期的運(yùn)營(yíng)成本也比較高，很多小型在企業(yè)初創(chuàng)之建立之初，它沒(méi)有這么大的一個(gè)資本進(jìn)行投入，我們這條產(chǎn)線目前的規(guī)劃產(chǎn)能的話就是一個(gè)月5000片，主要是解決從中試到小規(guī)小規(guī)模量產(chǎn)的一個(gè)這個(gè)部分，為很多企業(yè)從研發(fā)到大規(guī)模量產(chǎn)中間提供了一個(gè)中試加小規(guī)模量產(chǎn)的服務(wù)。

除了中試產(chǎn)線

在蘇州工業(yè)園區(qū)還有一座

被業(yè)內(nèi)稱為“芯片醫(yī)院”的平臺(tái)

勝科納米

勝科納米副總經(jīng)理張兮表示，我們的客戶遍布于板集， 印刷電路板級(jí)或者芯片級(jí)，甚至到晶元級(jí)，甚至還有一些具體的材料，某些材料的制造商，需要很多的分析的檢測(cè)的服務(wù)和輔助研發(fā)的這些技術(shù)。

芯片設(shè)制造是一門精密的藝術(shù)

制程越精細(xì)，問(wèn)題越隱蔽

分析能力就越關(guān)鍵

張兮表示，產(chǎn)品很多細(xì)節(jié)看不見(jiàn)，所以需要大量分析。分析有兩種選擇：一種是自己建立實(shí)驗(yàn)室、買設(shè)備；另一種是直接找第三方合作。兩種模式相比，自己投資成本高，還有人力資源投入，技術(shù)積累也有天花板和局限性。相反，把分析服務(wù)交給第三方處理，會(huì)大大減少研發(fā)投入，加快研發(fā)進(jìn)程。

如今的蘇州納米城

集聚二十個(gè)面向關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)的公共平臺(tái)

構(gòu)建起從原型設(shè)計(jì)、中試驗(yàn)證

到分析診斷的一體化支撐體系

正在形成科技企業(yè)

尤其是民營(yíng)企業(yè)抱團(tuán)攻關(guān)

高精尖技術(shù)難題的新生態(tài)

蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)張淑梅表示，從研發(fā)、中試、量產(chǎn)到產(chǎn)業(yè)化這樣的一個(gè)支撐體系，就全部都打造起來(lái)了。