2025年9月28日，廣州奧松電子股份有限公司的“新一代氣體質(zhì)量流量控制器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”順利通過(guò)科技成果評(píng)價(jià)。本次評(píng)價(jià)會(huì)由廣州生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司組織召開，邀請(qǐng)了來(lái)自華南理工大學(xué)、暨南大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、華南師范大學(xué)、廣東省科學(xué)院電子電器研究所、工業(yè)和信息化部電子第五研究所、中科院廣州電子技術(shù)有限公司等單位的7位專家組成評(píng)價(jià)專家組。

評(píng)價(jià)專家組聽取了項(xiàng)目匯報(bào)、審閱了相關(guān)材料，經(jīng)質(zhì)詢與討論，一致認(rèn)定該項(xiàng)目成果具有創(chuàng)新性，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。2025年11月3日，該項(xiàng)目入選廣州市2025年第十三期科技成果登記公示，現(xiàn)同步進(jìn)行完成單位公示，公示內(nèi)容如下：

本項(xiàng)目所研發(fā)的新一代氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），適用于多種常規(guī)氣體，在測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度與可靠性方面實(shí)現(xiàn)顯著提升。其重復(fù)精度高達(dá)±0.2%F.S.；泄漏率低至1×10?1? Pa·m3/sec，氣密性能優(yōu)異，有效保障生產(chǎn)安全。

AS200系列產(chǎn)品基于先進(jìn)的MEMS技術(shù)研發(fā)，在傳感器驅(qū)動(dòng)、零點(diǎn)漂移控制及閥控等關(guān)鍵環(huán)節(jié)均采用了自主核心技術(shù)，確保了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)與高可靠性。產(chǎn)品具備穩(wěn)定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、燃料電池、航空航天、環(huán)境監(jiān)測(cè)、石油化工、光伏鍍膜、生物制藥、醫(yī)療設(shè)備等重點(diǎn)領(lǐng)域。通過(guò)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代，項(xiàng)目成功打破國(guó)外技術(shù)壟斷，有效緩解半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域中的“卡脖子”問(wèn)題，契合國(guó)家“中國(guó)制造2025”與“雙碳”戰(zhàn)略需求。憑借高精度、快速響應(yīng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性等核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)，該產(chǎn)品在多個(gè)高端制造領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的推廣應(yīng)用前景。

此次科技成果的順利評(píng)價(jià)與公示，不僅是對(duì)奧松電子技術(shù)研發(fā)能力的高度認(rèn)可，更是對(duì)我國(guó)在高端傳感器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)科技自立自強(qiáng)的重要印證。未來(lái)，奧松電子將持續(xù)弘揚(yáng)“創(chuàng)新、務(wù)實(shí)、高效、共贏”的企業(yè)精神，進(jìn)一步增強(qiáng)自主創(chuàng)新能力，致力于為全球客戶提供更先進(jìn)、更可靠的MEMS傳感器產(chǎn)品與解決方案，為推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全與高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。