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荷蘭阿斯麥公司EUV光刻機(jī)的王者到底有多牛

電子設(shè)計(jì) ? 2018-09-28 09:44 ? 次閱讀
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中芯國(guó)際和華虹半導(dǎo)體在國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)還是有一定影響力的,但是在全球的半導(dǎo)體行業(yè)里,這兩家公司還沒那么出名。全球有名氣的、有影響力的三大半導(dǎo)體巨頭是美國(guó)的英特爾、***的臺(tái)積電、韓國(guó)的三星,這三大巨頭在技術(shù)上和業(yè)務(wù)上是彼此競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)系。

在荷蘭,有一家公司,不是這三大半導(dǎo)體巨頭的客戶,但這三大巨頭不光不敢得罪,還要努力討好。這家荷蘭的公司就是阿斯麥(ASML.O),全球唯一一家成功開發(fā)EUV光刻機(jī)的公司。

阿斯麥簡(jiǎn)介

阿斯麥的總部位于荷蘭,于1984年成立,原名Advanced Semiconductor Material Lithography Holding N.V.。1995年阿斯麥在NASDAQ和阿姆斯特丹交易所上市,2001年更名為ASML。公司擁有員工約16500人,其中研發(fā)人員超過6000人,研發(fā)人員占比超過36%。

阿斯麥的主要業(yè)務(wù)是光刻機(jī),在光刻機(jī)領(lǐng)域處于絕對(duì)領(lǐng)先的地位。在45納米以下制程的高端光刻機(jī)市場(chǎng)中,占據(jù)80%以上的市場(chǎng)份額,而在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域,目前處于絕對(duì)壟斷地位,市占率為100%,處于獨(dú)家供貨的狀態(tài)。

阿斯麥的主要客戶為全球一線的晶圓廠,除了英特爾、三星和臺(tái)積電這三大巨頭之外,國(guó)內(nèi)的中芯國(guó)際也是阿斯麥的客戶。

最近幾年,阿斯麥的營(yíng)收呈增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。2012至2016年,半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展緩慢,公司的營(yíng)收增速也有所放緩,增速大概在10%左右。2016年?duì)I收67億歐元,增長(zhǎng)8.1%,凈利潤(rùn)15億歐元,增長(zhǎng)5.5%。2017年半導(dǎo)體行業(yè)還是景氣,公司業(yè)績(jī)開始增速;2017年前三季,公司營(yíng)收65億歐元,同比增長(zhǎng)32%,凈利潤(rùn)15億歐元,同比增長(zhǎng)56%。預(yù)計(jì)2017年的營(yíng)收可以增長(zhǎng)25%左右。

EUV光刻機(jī)的王者

集成電路里的晶體管是通過光刻工藝在晶圓上做出來的,光刻工藝決定了半導(dǎo)體線路的線寬,同時(shí)也決定了芯片的性能和功耗。光刻機(jī)是半導(dǎo)體行業(yè)的最關(guān)鍵設(shè)備,因?yàn)樗鼪Q定了光刻工藝的水平。工欲善其事,必先利其器,要想開發(fā)先進(jìn)的半導(dǎo)體制程,就必需要有先進(jìn)的光刻機(jī)。

阿斯麥的光刻機(jī)按照使用的光源不同,可以分為DUV光刻機(jī)和EUV光刻機(jī)。DUV是Deep

Ultra Violet,即深紫外光;EUV是Extreme

Ultra Violet,即極紫外光。

DUV光刻機(jī)的極限工藝節(jié)點(diǎn)是28nm,要想開發(fā)更先進(jìn)的制程,就只能使用EUV光刻機(jī)了。

從2012年開始,光刻機(jī)技術(shù)沒有發(fā)生革命性變化,著名的摩爾定律開始失效,半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展緩慢,2015年甚至出現(xiàn)了2.3%的負(fù)增長(zhǎng)。半導(dǎo)體行業(yè)迫切需要使用EUV來提高光刻能力。

2013年阿斯麥的EUV光刻機(jī)研發(fā)成功,使用的光源是22nm;2017年更先進(jìn)的EUV光刻機(jī)研成功,使用的光源是13nm,使得7nm線寬的制程可以實(shí)現(xiàn)。

要想開發(fā)10納米以下的制程,EUV光刻機(jī)是必須的設(shè)備,而全球只有阿斯麥一家有EUV光刻機(jī)。為了能夠順利買到EUV光刻機(jī),半導(dǎo)體行業(yè)三大巨頭英特爾、三星和臺(tái)積電都已經(jīng)入股了阿斯麥。三星計(jì)劃2018年開始使用阿斯麥的EUV設(shè)備,臺(tái)積電計(jì)劃2019開始使用阿斯麥的EUV設(shè)備,格羅方德計(jì)劃2019年使用EUV,英特爾計(jì)劃2021開始使用7nm工藝。

目前,阿斯麥的EUV光刻機(jī)已經(jīng)開始出貨,2017年預(yù)計(jì)出貨12臺(tái),2018年預(yù)計(jì)出貨24臺(tái),到2019年預(yù)計(jì)出貨30臺(tái)。

小結(jié)

公司分為兩類,一類是普通的公司,一類是偉大的公司。普通的公司被行業(yè)影響,被動(dòng)適應(yīng)行業(yè)的發(fā)展;偉大的公司影響行業(yè),主動(dòng)推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展。

目前全球只有阿斯麥一家公司有能力制造EUV光刻機(jī)。半導(dǎo)體行業(yè)有了EUV光刻機(jī),就可進(jìn)行10納米以下的制程開發(fā)了。也就是說阿斯麥能不能開發(fā)出來EUV光刻機(jī),將直接決定半導(dǎo)體行業(yè)的制程能不能發(fā)展到10納米以下。

半導(dǎo)體三大巨頭英特爾、三星和臺(tái)積電要想開發(fā)10納米以下的半導(dǎo)體制程,都只能使用阿斯麥的EUV光刻機(jī)。不管三大巨頭之間怎么競(jìng)爭(zhēng),阿斯麥都可以穩(wěn)坐釣魚臺(tái)。

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