引言

MEMS傳感器膜片是壓力傳感、聲學(xué)傳感及慣性測(cè)量器件的核心感應(yīng)結(jié)構(gòu)，膜片平面度、面形PV/RMS形貌指標(biāo)與表面粗糙度直接決定傳感器感應(yīng)靈敏度、壓力響應(yīng)線性度及長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性。MEMS膜片材質(zhì)輕薄、結(jié)構(gòu)脆弱，加工制程中受刻蝕均勻性、薄膜沉積應(yīng)力與晶圓鍵合工藝影響，極易出現(xiàn)整體翹曲、局部凹凸形變及微觀表面粗糙超標(biāo)等問(wèn)題。此類形貌缺陷會(huì)造成傳感器應(yīng)力分布不均、信號(hào)漂移及零點(diǎn)偏移等不良現(xiàn)象。傳統(tǒng)接觸式探針測(cè)量易損傷薄膜敏感結(jié)構(gòu)，普通顯微觀測(cè)僅能目視定性判斷，無(wú)法精準(zhǔn)量化平面度、PV面形誤差與粗糙度數(shù)值，難以滿足MEMS器件精密制程質(zhì)控與良品管控需求。

白光干涉儀檢測(cè)核心工作原理

白光干涉儀檢測(cè)方案基于短相干白光干涉原理，結(jié)合顯微垂直掃描與高精度相位解算算法，實(shí)現(xiàn)MEMS傳感器膜片非接觸式全域三維形貌精密測(cè)量。白光短相干特性具備天然抗雜光干擾能力，無(wú)相位纏繞測(cè)量誤差，僅在膜片表面與參考鏡面達(dá)到等光程位置生成有效干涉條紋。通過(guò)納米級(jí)壓電掃描機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)垂直高精度步進(jìn)掃描，實(shí)時(shí)采集膜片全域干涉條紋圖像，系統(tǒng)快速重構(gòu)膜片完整三維面形結(jié)構(gòu)，自動(dòng)計(jì)算整體平面度、面形PV極值偏差、RMS均方根面形精度及微觀粗糙度關(guān)鍵參數(shù)，一鍵完成數(shù)據(jù)量化與形貌瑕疵定位，實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)核心指標(biāo)一體化同步檢測(cè)。

方案檢測(cè)優(yōu)勢(shì)與制程質(zhì)控作用

白光干涉儀全程采用無(wú)損非接觸測(cè)量方式，不會(huì)對(duì)MEMS超薄敏感膜片造成擠壓形變與表面損傷，測(cè)量精度可達(dá)納米級(jí)別，測(cè)量數(shù)據(jù)重復(fù)性強(qiáng)、穩(wěn)定性高。單次測(cè)量即可同步輸出平面度、PV/RMS面形及粗糙度全維度數(shù)據(jù)，檢測(cè)效率高，適配MEMS芯片研發(fā)工藝標(biāo)定與晶圓量產(chǎn)批量質(zhì)檢場(chǎng)景。通過(guò)精準(zhǔn)量化膜片形貌偏差，反向優(yōu)化刻蝕、薄膜沉積與應(yīng)力釋放工藝，有效改善MEMS傳感器感應(yīng)精度與長(zhǎng)期服役可靠性。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案

大視野3D白光干涉儀——MEMS傳感器納米級(jí)測(cè)量全域解決方案

突破傳統(tǒng)測(cè)量局限，定義MEMS傳感器檢測(cè)新范式！大視野3D白光干涉儀依托核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級(jí)全場(chǎng)景測(cè)量，以高效與精密兼具的優(yōu)勢(shì)，適配MEMS傳感器全流程檢測(cè)，重新詮釋工業(yè)精密測(cè)量的核心標(biāo)準(zhǔn)。

核心優(yōu)勢(shì)：大視野+高精度，打破行業(yè)壁壘

打破行業(yè)常規(guī)局限，徹底解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡僅能單孔使用、需兩臺(tái)儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量的痛點(diǎn)。本設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野，搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪，一臺(tái)設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量需求，高效適配MEMS傳感器復(fù)雜樣品檢測(cè)場(chǎng)景，無(wú)需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度。

MEMS傳感器實(shí)測(cè)應(yīng)用圖示

（以上為實(shí)測(cè)MEMS壓力傳感器芯片全景圖，可清晰呈現(xiàn)芯片整體形貌，精準(zhǔn)捕捉全域細(xì)節(jié)，為芯片外觀及整體尺寸檢測(cè)提供可靠支撐）

（圖為MEMS梳齒狀結(jié)構(gòu)圖，可精準(zhǔn)還原梳齒微觀形態(tài)，助力梳齒間距、尺寸精度等關(guān)鍵參數(shù)的精準(zhǔn)檢測(cè)，保障MEMS器件性能穩(wěn)定性）

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審核編輯 黃宇