近日，致真精密儀器自主研發(fā)的晶圓級原子力顯微鏡在北京大學(xué)集成電路學(xué)院順利完成交付及驗(yàn)收。此次交付驗(yàn)收，標(biāo)志著公司在高端微納表征設(shè)備領(lǐng)域取得了又一重要進(jìn)展，以自主創(chuàng)新的硬核實(shí)力，為頂尖學(xué)府的科研攻關(guān)提供精準(zhǔn)可靠的支撐。

作為國內(nèi)頂尖高等學(xué)府的北京大學(xué)，其集成電路學(xué)院在微電子、半導(dǎo)體材料與器件等前沿領(lǐng)域科研實(shí)力雄厚。此次學(xué)院選擇致真精密儀器晶圓級原子力顯微鏡，是對公司技術(shù)與產(chǎn)品品質(zhì)的高度認(rèn)可。該設(shè)備憑借高分辨率、高穩(wěn)定性及晶圓級樣品兼容優(yōu)勢，將為北京大學(xué)相關(guān)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究與技術(shù)創(chuàng)新提供強(qiáng)有力的硬件支撐。

設(shè)備交付驗(yàn)收期間，致真精密儀器技術(shù)團(tuán)隊(duì)全程跟進(jìn)，為北大科研人員提供了細(xì)致的設(shè)備調(diào)試、操作培訓(xùn)及技術(shù)講解服務(wù)，確保科研人員能夠快速熟練掌握設(shè)備操作，充分發(fā)揮儀器的高性能優(yōu)勢，助力科研工作高效推進(jìn)。

作為高端科學(xué)儀器的深耕者，致真精密儀器的足跡已遍布國內(nèi)多所頂尖高校與科研機(jī)構(gòu)。此次合作標(biāo)志著致真精密儀器晶圓級原子力顯微鏡正式進(jìn)入頂級科研場景，為進(jìn)一步拓展高端儀器在半導(dǎo)體、新材料等戰(zhàn)略領(lǐng)域的應(yīng)用奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

未來，致真精密儀器將繼續(xù)秉持自主創(chuàng)新理念，持續(xù)提升產(chǎn)品性能與服務(wù)品質(zhì)，推動(dòng)更多核心裝備落地高校與科研院所，為前沿科學(xué)研究提供堅(jiān)實(shí)可靠的技術(shù)支撐。

晶圓級原子力顯微鏡

晶圓級原子力顯微鏡利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體等固體材料進(jìn)行亞納米級三維掃描成像，可實(shí)現(xiàn)晶圓級大樣品形貌表征。電動(dòng)樣品定位臺與光學(xué)圖像相結(jié)合，可在200X200 mm區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1 μm的定位精度，光學(xué)結(jié)構(gòu)與掃描頭集成一體，自動(dòng)化程度高，操作便捷。

應(yīng)用案例

致真精密儀器

致真精密儀器聚焦高端科學(xué)儀器與集成電路測試設(shè)備的技術(shù)突破與自主研制，深耕掃描探針顯微鏡、精密磁測量、低溫多物性測試、半導(dǎo)體量檢測等領(lǐng)域，通過核心技術(shù)攻關(guān)與工程化落地，已成功推出系列高端科研級設(shè)備與產(chǎn)業(yè)級解決方案：

科研級核心設(shè)備：原子力顯微鏡（微納形貌表征核心設(shè)備）、高精度 VSM（振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)）、磁光克爾測量系統(tǒng)、常溫/變溫磁場探針臺系列、低溫強(qiáng)磁場光學(xué)測量平臺等；

產(chǎn)業(yè)級解決方案：晶圓級MOKE測量儀、隧穿磁阻比率測量儀、自旋芯片F(xiàn)T測試機(jī)等量檢測設(shè)備。