在半導(dǎo)體、光伏等高端制造領(lǐng)域，工藝氣體的微小波動，往往就是良率滑坡的開始。

針對復(fù)雜工況下的氣體監(jiān)測痛點，一款專為先進制程打造的國產(chǎn)利器——HM-230多壓力殘余氣體分析儀重磅登場。

作為一款集RGA（殘余氣體分析儀）、真空系統(tǒng)及智能進樣模塊于一體的在線質(zhì)譜分析設(shè)備，高效適配多壓力復(fù)雜工況，為先進制程穩(wěn)定運行保駕護航。

九大核心價值，重新定義在線氣體監(jiān)測

1寬壓適配：突破壓力邊界

覆蓋1E-8Torr~1.2atm全壓力范圍，提供1-100/200/300amu三種質(zhì)量數(shù)選擇，實時精準(zhǔn)監(jiān)測H?、He、N?、O?、Ar等關(guān)鍵氣體成分，穩(wěn)定適配各類復(fù)雜工藝。

2在線分析：實時預(yù)警風(fēng)險

毫秒級響應(yīng)速度，實時追蹤工藝氣體組分變化，一旦發(fā)現(xiàn)異常波動立即報警，提前鎖定污染與工藝偏移風(fēng)險，避免批量不良品產(chǎn)生。

3一體集成：即接即測快速落地

將RGA、真空系統(tǒng)、進樣模塊高度集成，無需額外搭建復(fù)雜真空系統(tǒng)，直接對接產(chǎn)線，大幅縮短項目落地周期，降低部署成本。

4抗污設(shè)計：長期穩(wěn)定運行

采用抗污染涂層+表面鈍化工藝，有效減少工藝沉積物對核心部件的污染，延長設(shè)備使用壽命，保障長期監(jiān)測數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性與一致性。

5雙模檢測：兼顧精度與范圍

FC/EM雙檢測器協(xié)同工作，既滿足痕量氣體的高靈敏度檢測，又能應(yīng)對高濃度組分的寬動態(tài)范圍分析，復(fù)雜氣體成分也能精準(zhǔn)定性定量。

6智能分析：降低人工依賴

內(nèi)置自動分析算法，實現(xiàn)氣體組分的自動定性定量、異常自動報警，降低操作門檻與人工成本。

7高效集成：對接智能工廠

支持API接口與數(shù)據(jù)上傳功能，可快速對接MES系統(tǒng)及設(shè)備控制系統(tǒng)，實現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)的互聯(lián)互通，助力智能工廠的數(shù)字化管控。

8廣泛兼容：覆蓋先進制程

適配CVD、PVD、ALD、刻蝕、真空鍍膜等多種高端制造工藝，一臺設(shè)備即可滿足多制程的氣體監(jiān)測需求，適配不同客戶的多樣化場景。

9核心自研：交期短，供應(yīng)穩(wěn)

核心部件100%自主研發(fā)，交付周期更短，本土團隊提供快速響應(yīng)服務(wù)，全方位保障供應(yīng)鏈安全，護航客戶穩(wěn)定量產(chǎn)。

為什么復(fù)雜工藝更需要在線監(jiān)測？

因為在先進制程中，很多關(guān)鍵問題，并不會“突然發(fā)生”。而是：通過氣體變化，提前釋放信號。例如：前驅(qū)體比例漂移、副產(chǎn)物異常增加、腔體污染、微泄漏、膜層沉積異?！绻荒軐崟r發(fā)現(xiàn)，最終就會演變成：良率波動、批量不良、停機損失。

HM-230的價值，正是在問題擴大之前，提前發(fā)現(xiàn)問題。

典型應(yīng)用場景，賦能先進制造

CVD 化學(xué)氣相沉積：實時監(jiān)控前驅(qū)體氣體比例，防止反應(yīng)不均

PVD 物理氣相沉積：檢測真空室殘留氣體，降低薄膜缺陷率

ALD 原子層沉積：精確控制脈沖氣體濃度，提升沉積均勻性

刻蝕工藝監(jiān)測：快速發(fā)現(xiàn)刻蝕副產(chǎn)物異常，避免過刻或殘留

真空鍍膜過程分析：全程追蹤膜層形成過程中的氣體變化

真空泄漏與污染監(jiān)測：即時發(fā)現(xiàn)微小泄漏點，減少停機排查時間

核心痛點剖析&破局方案

痛點一：壓力適配難

傳統(tǒng)RGA僅能覆蓋窄壓力范圍，無法滿足多制程的多樣化壓力需求。

破局方案：HM-230搭載寬壓進樣技術(shù)，1E-8 Torr~1.2 atm全壓力覆蓋，一臺設(shè)備適配多制程需求。

痛點二：污染損耗大

工藝氣體雜質(zhì)易污染檢測器，縮短壽命，增加維護成本。

破局方案：HM-230內(nèi)置采用抗污染設(shè)計，可有效減少核心部件污染，降低維護頻率，提升設(shè)備利用率。

痛點三：響應(yīng)速度慢

離線分析滯后性強，無法實時捕捉工藝異常，導(dǎo)致批量良率損失。

破局方案：HM-230支持實時在線監(jiān)測，毫秒級響應(yīng)速度，確保異常提前預(yù)警，讓風(fēng)險止步于萌芽。

痛點四：集成成本高

需要額外搭建真空系統(tǒng)與進樣裝置，部署周期長、成本高。

破局方案：HM-230采用一體化集成設(shè)計，即接即測快速部署，降低集成成本與項目周期。

結(jié)語

HM-230RGA 不只是一個氣體分析儀器，它更是產(chǎn)線上的全天候氣體哨兵。

在良率競爭日益激烈的今天，它幫助您提前發(fā)現(xiàn)隱患、減少停機、優(yōu)化工藝，讓每一次沉積、刻蝕、鍍膜都更可控。

如果您正在面臨制程氣體監(jiān)測的痛點，或者想了解更多產(chǎn)品細節(jié)，歡迎隨時咨詢，我們將為您提供定制化的解決方案，助力您的制程更智能、更穩(wěn)定、更高效！