在高端制造向“零缺陷”進(jìn)階的今天，微漏難捕、工藝氣體成分不清、真空污染溯源滯后，依然是困擾液冷、新能源、半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏、航空航天等先進(jìn)制造的核心痛點(diǎn)。

海瑞思——HIRAYS，深耕密封檢測(cè)近20年，依托完全自研質(zhì)譜核心技術(shù)，打造覆蓋質(zhì)譜檢漏系列與質(zhì)譜分析系列的全系HM產(chǎn)品矩陣，為半導(dǎo)體、新能源、液冷、3C電子、真空鍍膜及制冷等行業(yè)提供從定性定量檢漏到工藝氣體實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的一站式解決方案。

01質(zhì)譜檢漏系列

電解液特征氣體檢漏

HM-210電解液檢漏儀：適用動(dòng)力電池、消費(fèi)電池全產(chǎn)業(yè)鏈——電芯、模組、PACK 總成及移動(dòng)電源成品等電解液微漏檢測(cè)，在線式升級(jí)款，結(jié)構(gòu)緊湊，支持產(chǎn)線全自動(dòng)集成，超強(qiáng)抗干擾，適配高速量產(chǎn)。

常壓電解液檢漏

HM-310常壓電解液檢漏儀：創(chuàng)新采用常壓循環(huán)進(jìn)樣+負(fù)壓快檢雙模式，支持動(dòng)力電池包不拆包檢測(cè)，具備大漏攔截與多重防誤判機(jī)制，滿足售后排查與產(chǎn)線出貨快速篩查需求。

冷媒 / 多氣體檢漏

HM-500多氣體檢漏儀：最小可檢漏率低至0.05g/a，可精準(zhǔn)檢測(cè)R134a、R600a等多種冷媒及自定義特征氣體，適用于空調(diào)、冰箱、商用制冷設(shè)備及汽車空調(diào)系統(tǒng)的冷媒泄漏測(cè)試。

以上三款均是基于四極桿質(zhì)譜技術(shù)，直接檢測(cè)電解液特征揮發(fā)組分（如DMC/EMC/DEC特征離子）及制冷劑分子，精準(zhǔn)定性定量分析，從根源解決傳統(tǒng)氣密檢測(cè)"微漏測(cè)不出、誤判率高"的痛點(diǎn)。設(shè)備支持MES無縫對(duì)接與全鏈路數(shù)據(jù)追溯，靈活適配各類自動(dòng)化產(chǎn)線，讓質(zhì)量檢測(cè)既精準(zhǔn)又高效。

超高靈敏度定位定量檢微漏

HM-400氦質(zhì)譜檢漏儀：基于磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜分析技術(shù)，以氦氣為示蹤氣體，利用磁場(chǎng)中離子偏轉(zhuǎn)半徑的差異實(shí)現(xiàn)氦離子的高分辨率分離，結(jié)合專用信號(hào)處理算法，最小可檢漏率5×10?13 Pa·m3/s。儀器支持吸槍法、噴氦法、真空箱法、累積法及背壓法，正負(fù)壓皆可檢，優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)與算法，響應(yīng)快且抗干擾能力強(qiáng)。

廣泛應(yīng)用于液冷、新能源電池系統(tǒng)、航空航天部件、半導(dǎo)體設(shè)備及精密醫(yī)療器械的密封性檢測(cè)與漏點(diǎn)定位。

02質(zhì)譜分析系列

HM-100/130/150 殘余氣體分析儀

——適用于半導(dǎo)體·真空鍍膜·光伏·科研

——腔體殘余氣體分析與工藝監(jiān)測(cè)專用

HM-100

HM-130

HM-150

HM-100殘余氣體分析儀：經(jīng)典入門款RGA，以3×10?1? Torr的高靈敏度精準(zhǔn)識(shí)別關(guān)鍵殘余氣體，為真空系統(tǒng)診斷筑牢根基。

HM-130高性能殘余氣體分析儀：2×10?1? Torr的超高靈敏度，2ms/點(diǎn)高速掃描，1–300amu全譜覆蓋，是CVD/PVD/ALD/刻蝕等制程的"數(shù)字慧眼"。

HM-150高壓力殘余氣體分析儀：針對(duì)PVD高壓工況設(shè)計(jì)，突破性地支持最高2Pa工作壓強(qiáng)，采用釔銥/鎢雙燈絲抗腐蝕設(shè)計(jì)，以毫秒級(jí)響應(yīng)精準(zhǔn)鎖定高壓環(huán)境下的痕量雜質(zhì)，化身產(chǎn)線良率"防損尖兵"。

這三款設(shè)備是RGA（殘余氣體分析儀）的核心檢測(cè)單元，作為氣體成分分析的“傳感器”，需與進(jìn)樣系統(tǒng)及分析軟件配套使用。

產(chǎn)品線涵蓋從基礎(chǔ)型到高性能型的完整梯隊(duì)，特別包含可適配高壓強(qiáng)等嚴(yán)苛工況的型號(hào)，能夠覆蓋全場(chǎng)景應(yīng)用需求。

可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空腔體內(nèi) H?O、H?、N?、O?、Ar、CO、CO?等關(guān)鍵氣體成分及分壓變化，為工藝優(yōu)化、污染溯源、腔體放氣分析與異常診斷提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。

HM-230多壓力殘余氣體分析儀

——適配半導(dǎo)體從高真空到常壓的全梯度壓力制程

這款設(shè)備一體化集成RGA、真空系統(tǒng)與智能進(jìn)樣模塊，覆蓋1E?? Torr ~ 1.2 atm全壓力范圍，適配范圍更廣，通過FC/EM雙檢測(cè)器協(xié)同，即接即測(cè)適配多制程壓力場(chǎng)，是復(fù)雜工藝中不可或缺的“在線氣體哨兵”。

HM-200在線質(zhì)譜分析儀

——適用于研發(fā)試驗(yàn)、小批量驗(yàn)證

可用于真空系統(tǒng)殘余氣體成分分析、工藝氣體定性定量監(jiān)測(cè)及污染溯源，滿足驗(yàn)證及工藝研發(fā)需求。

RGA質(zhì)譜分析系列共性優(yōu)勢(shì)

智能

高效

核心

自研

全系RGA支持API數(shù)據(jù)上傳，助力數(shù)字化智能工廠建設(shè)

核心部件全自研，交期更短，本土技術(shù)團(tuán)隊(duì)極速響應(yīng)

03為什么選擇海瑞思HM系列？

1頭部客戶共同選擇

國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，18年專注密封檢測(cè)領(lǐng)域，長(zhǎng)期服務(wù)3C、新能源、液冷及汽車等行業(yè)頭部客戶，依托強(qiáng)大的持續(xù)迭代與規(guī)模化交付能力，為客戶提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的品質(zhì)保障

2同源質(zhì)譜全矩陣

檢漏＋分析雙線覆蓋，解決高端制程多場(chǎng)景檢測(cè)需求，一站式護(hù)航高端精密檢測(cè)

3核心全自研

自有生產(chǎn)基地，核心技術(shù)完全自研，打破進(jìn)口依賴，供應(yīng)鏈安全可控，交期與售后更有保障

4數(shù)據(jù)深度互聯(lián)

預(yù)留API數(shù)據(jù)接口，無縫對(duì)接MES系統(tǒng)，檢測(cè)數(shù)據(jù)可追溯，利于工藝優(yōu)化，筑牢良率防線

5本地化服務(wù)

從產(chǎn)線評(píng)估、樣機(jī)測(cè)試、工裝定制到終身維保，全鏈路護(hù)航

讓微漏無處遁形，讓氣體變化看得見。

如果您正面臨——

1高端制造、先進(jìn)制程密封檢漏

2真空腔體殘余氣體分析與污染溯源

3工藝氣體實(shí)時(shí)監(jiān)控與良率提升

歡迎咨詢獲取定制化解決方案，海瑞思HM系列全家族，將始終為您的產(chǎn)品安全與良率護(hù)航！海瑞思RGA系列六月特惠已啟動(dòng)，私信【RGA試用】，預(yù)約免費(fèi)試機(jī)，親身體驗(yàn)高精度氣體分析帶來的工藝革新。