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利用非常簡單的工藝步驟和廉價的材料,設(shè)計出了一種薄電容式傳感器

MEMS ? 來源:lp ? 2019-04-15 10:51 ? 次閱讀
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據(jù)麥姆斯咨詢報道,法國國家科學研究中心(CNRS)的研究小組利用非常簡單的工藝步驟和廉價的材料,設(shè)計出了一種薄電容傳感器,這種傳感器由具有超高壓力靈敏度的含碳彈性泡沫材料制作而成。

該研究團隊在自然合作期刊(NaturePartnerJournals,npj)《npj-柔性電子》上發(fā)表了一篇題為“Polymericfoamsforflexibleandhighlysensitivelow-pressurecapacitivesensors”的論文,文中詳細介紹了這種由復合泡沫材料構(gòu)成的電容式傳感器,該泡沫材料的閉氣孔被導電炭黑顆粒所覆蓋。研究人員采用油包水乳液法,將由炭黑(CB)液滴組成的水基乳狀液分散到固化前的PDMS基體中。固化聚合物后再完成水蒸發(fā),就會形成一種彈性體結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)的球形空隙上覆蓋著炭黑顆粒。然后將復合泡沫夾在頂部和底部兩條導電柔性碳帶電極之間,以形成一種三明治結(jié)構(gòu),獲得完整的電容式傳感器。

通過試驗不同的炭黑濃度、分散濃度和材料厚度,研究人員發(fā)現(xiàn),在1.2mm薄的復合泡沫層中加入10?wt%的炭黑,可獲得優(yōu)異的靈敏度。論文中顯示,0~0.2kPa范圍內(nèi)的壓力靈敏度為35.1kPa?1,0.2~1.5kPa范圍內(nèi)的壓力靈敏度為6.6kPa?1。

聚合物泡沫(PDMS)中被炭黑所覆蓋的導電孔

此外,該材料具有高電容(超過100pF),可在無需任何信號放大的情況下,輕易地使用低成本電子設(shè)備來測量。只需1v的偏壓即可記錄器件的電容響應,且由于材料電阻率較高,該傳感器在1kPa壓力傳感下能耗只需約100nW(顯示10MΩ電阻)。研究人員稱,這比傳統(tǒng)的硅壓阻式壓力傳感器效率高出幾個數(shù)量級。

將這種電容式壓力傳感器安裝在受試者手腕上,可記錄動脈脈搏的壓力變化,提供實時且原位的電容讀數(shù)

研究者預計,這種超靈敏傳感器可被設(shè)計為一種簡單的貼片來監(jiān)測血壓,通過記錄動脈脈搏波(如電容信號)并使用基于人工智能AI)的算法將其轉(zhuǎn)換成對應的壓力值。

這種復合材料也可用于設(shè)計機器人的壓敏人造皮膚。論文中提到了一種特殊醫(yī)學應用,可利用機器人“觸診”軟組織器官,來檢測軟組織中的嵌入式結(jié)節(jié)。研究者指出,毫米級結(jié)節(jié)的硬度變化低于0.1?kPa,這就需要像論文中所示的高度靈敏傳感器。

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原文標題:含碳泡沫材料塑造超靈敏壓力傳感器,助力醫(yī)療可穿戴設(shè)備

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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