一灘油墨開(kāi)啟的MEMS人生

跟隨麥姆斯咨詢將時(shí)間撥回到1975年，那時(shí)的Kurt Petersen還是一位年輕的研究員，剛從麻省理工學(xué)院（MIT）電氣工程專業(yè)博士畢業(yè)，任職于加州IBM Almaden研究中心的光學(xué)部門。有一天，當(dāng)他在這個(gè)巨大的建筑群中閑逛時(shí)，他在一個(gè)不起眼的走廊的油氈上發(fā)現(xiàn)了一大灘黑色污漬。誰(shuí)能想到，這塊污漬改變了他的生活，甚至影響了整個(gè)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)程。

他也是閑來(lái)無(wú)事，為了尋找污漬的源頭，Petersen走進(jìn)了最近的實(shí)驗(yàn)室。他發(fā)現(xiàn)污漬來(lái)自于墨水泄漏。這個(gè)實(shí)驗(yàn)室正在通過(guò)在硅片上蝕刻深孔來(lái)制造噴墨打印機(jī)的噴頭。

在硅片上蝕刻深孔？Petersen從未想過(guò)可以在硅片上蝕刻深孔。但他想起了那年早些時(shí)候看到過(guò)的一張海報(bào)，關(guān)于在硅片上制造微型加速度計(jì)的一項(xiàng)研究。他意識(shí)到當(dāng)時(shí)已經(jīng)有人在研究用硅材料制造微型機(jī)械器件，它們的器件尺寸僅有幾個(gè)微米?，F(xiàn)在，我們稱這些微型機(jī)械為微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectromechanical systems, MEMS）。在那之后，Petersen似乎找到了自己一生的奮斗方向：MEMS。

他為自己規(guī)劃了一條新的職業(yè)道路：研發(fā)MEMS技術(shù)（包括現(xiàn)在為美國(guó)郵寄的每一封信件進(jìn)行炭疽篩查的MEMS設(shè)備），創(chuàng)辦MEMS初創(chuàng)公司。為了表彰他對(duì)MEMS領(lǐng)域的貢獻(xiàn)，Petersen獲得了2019年度IEEE榮譽(yù)獎(jiǎng)?wù)隆?/p>

在遇到他的“真命天子——油墨”之后，Petersen開(kāi)始研讀所有關(guān)于用硅材料制造微型機(jī)械器件的期刊文獻(xiàn)，例如IEEE Transactions on Electron Devices，Applied Physics Letters以及Journal of the Electrochemical Society等。當(dāng)時(shí)，這個(gè)技術(shù)類別甚至沒(méi)有自己的名稱，市場(chǎng)上只有少數(shù)幾種MEMS類型的產(chǎn)品。他發(fā)現(xiàn)，“當(dāng)時(shí)全世界只有數(shù)十人在研究用硅材料制造各種不同類型的微機(jī)械器件，并且還沒(méi)有建立這個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的交流圈，做這項(xiàng)研究工作的人并不了解其他人的研究情況?！?/p>

然后，Petersen開(kāi)始構(gòu)建自己的第一個(gè)MEMS器件。通過(guò)在顯微鏡下觀察一些噴墨打印機(jī)的噴頭，他發(fā)現(xiàn)，“當(dāng)有缺陷時(shí)，可以看到噴頭中留有的一些懸置的、非常薄的獨(dú)立二氧化硅梁。我想，哇，也許這些微小的機(jī)械結(jié)構(gòu)可以運(yùn)動(dòng)起來(lái)。也許它們可以偏轉(zhuǎn)光線，我可以利用它們打造一款光調(diào)制器！”他采用了類似當(dāng)今MEMS產(chǎn)品制造中的工藝流程，在外延硅的犧牲層上形成一層二氧化硅，然后蝕刻掉犧牲層，剩下的便是頂部有薄金屬層的二氧化硅懸臂梁。

他花了三個(gè)月時(shí)間制作了一些微觀調(diào)制器，每個(gè)調(diào)制器長(zhǎng)約100微米，厚度為0.5微米。他把它們帶到了IBM掃描電子顯微鏡（SEM）實(shí)驗(yàn)室，技術(shù)人員幫他完成了電氣連接，這樣他就可以給這些器件施加電壓并觀察它們的微觀運(yùn)動(dòng)。

“這簡(jiǎn)直太神奇了！”Petersen回憶稱，“之前從未在顯微鏡下看到過(guò)這樣的運(yùn)動(dòng)?！?/p>

Petersen在接下來(lái)的五年里，利用硅片打造了許多不同類型的MEMS器件，包括MEMS加速度計(jì)和電氣開(kāi)關(guān)。他從光學(xué)小組出來(lái)搬進(jìn)了一個(gè)定制化設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)室，這個(gè)實(shí)驗(yàn)室正好可以容納他和一位實(shí)習(xí)生。

基于對(duì)文獻(xiàn)的深入挖掘和自己的研究，Petersen撰寫了一份關(guān)于這項(xiàng)新興技術(shù)的內(nèi)部報(bào)告?！坝性S多微型機(jī)械結(jié)構(gòu)可能會(huì)引起IBM的興趣，”他說(shuō)，例如光學(xué)和機(jī)械磁盤驅(qū)動(dòng)器讀寫頭，以及更復(fù)雜的噴墨打印頭。但是，IBM并不感興趣。

必讀：Petersen于1982年5月發(fā)表在Proceedings of the IEEE上的封面文章，使他成為MEMS技術(shù)的傳道者

Petersen很失望，但他也意識(shí)到這些MEMS器件并不是IBM任何業(yè)務(wù)的關(guān)鍵需求。因此，他重新編寫了報(bào)告，刪除了IBM的專有信息，然后將這份50頁(yè)的報(bào)告提交給了Proceedings of the IEEE。1982年5月，他的這篇報(bào)告“Silicon as a Mechanical Material”成為了封面文章，使MEMS成為了一種技術(shù)分支。

文章內(nèi)容很全面，探究了集成電路材料的機(jī)械性能，以及將這些材料蝕刻成不同形狀和結(jié)構(gòu)的各種方法?！拔恼逻€推測(cè)了后來(lái)的技術(shù)發(fā)展，比如深反應(yīng)離子刻蝕，該技術(shù)真正徹底改變了這個(gè)領(lǐng)域，”Petersen說(shuō)，“即便到了現(xiàn)在，還有人跟我說(shuō)正是閱讀了這篇文章，使他們對(duì)MEMS產(chǎn)生了濃厚的興趣。”

“在我讀研究生的時(shí)侯，我們都讀過(guò)這篇論文，”加州門洛帕克（Menlo Park, Calif.）SRI International現(xiàn)任首席技術(shù)官（CTO）Greg Kovacs說(shuō)道，“他在MEMS領(lǐng)域做出了巨大的貢獻(xiàn)。比開(kāi)創(chuàng)這個(gè)領(lǐng)域更重要的是，他指引了這個(gè)領(lǐng)域的發(fā)展。對(duì)于我來(lái)說(shuō)，他就是我的超級(jí)英雄。”

自那篇論文發(fā)布后，Petersen應(yīng)邀在世界各地的研討會(huì)上演講，而各地的研究人員也紛紛來(lái)到Almaden造訪他。“全世界做各種各樣新奇研究的人（比如微流體低溫制冷器），都通過(guò)各種途徑找到了我，”他說(shuō)。似乎一夜之間，他變成了MEMS技術(shù)的傳道者。

該技術(shù)領(lǐng)域在整個(gè)20世紀(jì)80年代一直穩(wěn)步發(fā)展。在Petersen的論文發(fā)表時(shí)，全世界大約有30到40名研究人員在研究這項(xiàng)技術(shù)。到1990年，他估計(jì)這一數(shù)字大約增長(zhǎng)到了600位。此后，用于一次性血壓計(jì)和新型燃料控制化油器的壓力傳感器上市。航空航天產(chǎn)業(yè)開(kāi)始使用基于MEMS的加速度計(jì)。第一批微機(jī)械噴墨打印頭開(kāi)始批量生產(chǎn)。一批創(chuàng)業(yè)公司開(kāi)始出現(xiàn)，渴望與該技術(shù)一起發(fā)展。Petersen說(shuō)，該技術(shù)在1987年美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金會(huì)的一場(chǎng)研討會(huì)上得到了現(xiàn)在的名稱MEMS。

初次創(chuàng)業(yè)，Transensory Devices

毫不意外，很多公司找上了Petersen。他終于接受了這個(gè)誘惑，于1982年聯(lián)合Jim Knutti創(chuàng)立了Transensory Devices，研發(fā)并制造MEMS器件。

他回憶說(shuō)，放棄穩(wěn)定的大公司研究工作還是有些“后怕”的。當(dāng)時(shí)，Petersen有兩個(gè)年幼的兒子，所以財(cái)務(wù)穩(wěn)定是一個(gè)需要考慮的問(wèn)題。這家初創(chuàng)公司的資金當(dāng)時(shí)不到100萬(wàn)美元，最終來(lái)自州外的石油行業(yè)，而非硅谷投資者?！爱?dāng)時(shí)，硅谷有創(chuàng)業(yè)公司，但跟現(xiàn)在的環(huán)境可不一樣，那時(shí)獲得投資很困難，”他說(shuō)。

其創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)搬進(jìn)了一座位于加州弗里蒙特（Fremont, Calif.）占地280平方米的制造廠，并興建了一些自己的設(shè)備，包括用于封裝和保護(hù)硅晶圓的晶圓鍵合機(jī)。他們從大企業(yè)獲得合同來(lái)生產(chǎn)樣品，包括像Petersen在IBM時(shí)期制造的那些光調(diào)制器。此外，他們還開(kāi)始開(kāi)發(fā)自己的MEMS器件。

“我們展示了很多MEMS器件，”Petersen說(shuō)，“但都沒(méi)有投入量產(chǎn)?！币豢钣糜诳ㄜ囘\(yùn)輸業(yè)的輪胎壓力傳感器已經(jīng)接近尾聲，但一起工作的主管卻去世了。其它產(chǎn)品甚至都沒(méi)有能夠接近商業(yè)化，Petersen把這一問(wèn)題歸結(jié)為他和Knutti都沒(méi)有量產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)。

Transensory的訂單可以維持公司的運(yùn)營(yíng)，但Petersen希望將他自己的MEMS器件推向市場(chǎng)，是時(shí)候二次創(chuàng)業(yè)了。

梅開(kāi)二度，創(chuàng)辦NovaSensor，成為“百萬(wàn)富翁”

1985年，Petersen、Janusz Bryzek和Joseph Mallon從油田服務(wù)業(yè)巨頭斯倫貝謝（Schlumberger）獲得了500萬(wàn)美元資金創(chuàng)辦了NovaSensor公司。Bryzek此前曾聯(lián)合創(chuàng)辦過(guò)兩家開(kāi)發(fā)MEMS壓力傳感器的公司。Petersen說(shuō)，“Janusz及其合作伙伴擁有Transensory所缺乏的生產(chǎn)和制造DNA?！?/p>

NovaSensor開(kāi)始著手打造三種類型的MEMS壓力傳感器：一種用于航空航天產(chǎn)業(yè)，另一種用于石油產(chǎn)業(yè)，以及一種沒(méi)有特定市場(chǎng)的高溫壓力傳感器。后來(lái)證明，最后一款器件最成功，它甚至進(jìn)入了航天飛機(jī)的輪胎?！拔覀冋业搅艘环N使用MEMS工藝將電阻與基板隔離的方法，”Petersen回憶稱。他認(rèn)為這個(gè)壓力傳感器是全球第一款絕緣體上硅（SOI）MEMS器件，后來(lái)這種技術(shù)才開(kāi)始逐漸普及。

Lucas Industries于1991年收購(gòu)了NovaSensor，這次收購(gòu)使Petersen成為了“MEMS百萬(wàn)富翁”。中間幾經(jīng)易手，NovaSensor的產(chǎn)品線現(xiàn)在由安費(fèi)諾（Amphenol）銷售。

后來(lái)，Petersen繼續(xù)留任多年，以獲取他的股份權(quán)益。在此期間，他專注于熔融鍵合技術(shù)研究，該工藝涉及蝕刻具有不同圖案的兩個(gè)晶圓然后將它們鍵合在一起。該工藝可以創(chuàng)建極其復(fù)雜的器件，例如MEMS陀螺儀。下圖展示的板簧結(jié)構(gòu)便是用這個(gè)工藝制造的第一款器件，Petersen的名片上一直放著這款器件。

上圖展示了Kurt Petersen或他創(chuàng)辦的公司制造的MEMS器件，從上左順時(shí)針看分別是用硅熔融鍵合工藝制成的導(dǎo)管尖端壓力傳感器，于1990年左右在NovaSensor制造；在IBM Research時(shí)期構(gòu)建的CMOS/MEMS集成加速度計(jì)；采用深反應(yīng)離子蝕刻制成的微流控結(jié)構(gòu)原型，于1993年在NovaSensor制造；用于流量傳感器的加熱橋元件，于1984年在Transensory Devices制造；由單晶硅制成的板簧結(jié)構(gòu)，于1993年在NovaSensor制造。

當(dāng)Petersen于1995年離開(kāi)NovaSensor時(shí)，MEMS壓力傳感器已被廣泛應(yīng)用于各種系統(tǒng)，包括水肺潛水設(shè)備和暖通空調(diào)（HVAC）控制系統(tǒng)等，而MEMS加速度計(jì)也已經(jīng)開(kāi)始出現(xiàn)在汽車安全氣囊的碰撞傳感系統(tǒng)中。

跨界微流控，創(chuàng)辦Cepheid，2016年被生命科學(xué)巨頭丹納赫（Danaher）以40億美元收購(gòu)

當(dāng)Petersen離開(kāi)NovaSensor時(shí)他還沒(méi)有計(jì)劃好接下來(lái)的安排。勞倫斯利弗莫爾國(guó)家實(shí)驗(yàn)室（Lawrence Livermore National Laboratory）的研究員Allen Northrup向他建議，MEMS器件或能大幅加速聚合酶鏈反應(yīng)（PCR），這在當(dāng)時(shí)是一種相對(duì)很新的復(fù)制DNA序列的方法。Petersen妻子的好友Bill McMillan曾在生物科技公司工作，他證實(shí)了PCR的前景。為此，Petersen開(kāi)始草擬一項(xiàng)計(jì)劃，以縮減PCR設(shè)備的尺寸和成本，旨在制造一款可以放在每個(gè)醫(yī)生辦公室的手持設(shè)備。

他和McMillan在帕洛阿爾托（Palo Alto）的加州咖啡館共進(jìn)了午餐。Petersen說(shuō)：“我給了他一些想法，他便開(kāi)始在紙墊上繪制了商業(yè)計(jì)劃書。”現(xiàn)在Petersen還保留著這份“商業(yè)計(jì)劃書”。

Petersen于1982年發(fā)表的論文暗示了深反應(yīng)離子刻蝕的可能性，可以在硅中創(chuàng)建比傳統(tǒng)芯片制造工藝更深的孔和溝槽。于是，他開(kāi)始將深反應(yīng)離子刻蝕應(yīng)用于微流控芯片，這種微流控芯片可以使微量的液體沿著微通道精確地傳送。

“我們的想法是利用MEMS和微流控技術(shù)來(lái)非?？焖俚丶訜?、冷卻樣品，有可能使PCR設(shè)備變得足夠小而且快速，以至于可以在每個(gè)醫(yī)生的辦公室用它進(jìn)行診斷，”Petersen說(shuō)。

為了使該技術(shù)商業(yè)化，Petersen于1996年共同創(chuàng)立了Cepheid公司，并從利弗莫爾實(shí)驗(yàn)室（Livermore Labs）獲得了基礎(chǔ)技術(shù)的授權(quán)。1997年，Cepheid公司從美國(guó)國(guó)防部（U.S. Department of Defense）獲得了320萬(wàn)美元資金，美國(guó)國(guó)防部急需一種生物武器探測(cè)器。Cepheid推出的第一款設(shè)備Smart Cycler，采用了一種MEMS結(jié)構(gòu)快速加熱、冷卻微升級(jí)的液體，并使用熒光傳感器監(jiān)測(cè)反應(yīng)進(jìn)程。不過(guò)，這還不是一款手持設(shè)備，但這并不重要。自動(dòng)化PCR過(guò)程，更為重要。

Cepheid的下一款產(chǎn)品名為GeneXpert，旨在使PCR變得更加簡(jiǎn)單。它可以自動(dòng)從生物樣本中提取DNA，然后添加相關(guān)測(cè)試所需要的試劑。

2000年6月，正當(dāng)美國(guó)科技泡沫破滅之際，Cepheid公司成功上市。Petersen說(shuō)：“我們是市場(chǎng)萎縮之前，最后成功上市的科技公司之一?！?/p>

憑借公司上市獲得的資金，該團(tuán)隊(duì)將Smart Cycler投入量產(chǎn)，到2001年夏季末，他們已經(jīng)交付了大約80套系統(tǒng)。GeneXpert仍在繼續(xù)開(kāi)發(fā)，第一臺(tái)原型機(jī)于2001年12月推出。

GeneXpert是世界上第一個(gè)將樣品制備、擴(kuò)增與檢測(cè)完全整合的定量PCR儀，使得即使不具備專業(yè)技術(shù)的人員也可以在各種環(huán)境下進(jìn)行復(fù)雜的分子檢測(cè)。

后來(lái)，美國(guó)發(fā)生了炭疽襲擊。2001年9月底和10月，含有炭疽孢子的信件被郵寄給美國(guó)新聞媒體和美國(guó)參議院成員，最終感染20多人，并導(dǎo)致5人死亡。

Cepheid之前就已經(jīng)確定，炭疽病毒為其技術(shù)可以快速檢測(cè)的物質(zhì)之一，這使該公司突然成為新聞熱門。Petersen回憶說(shuō)：“我們與Sanjay Gupta博士在‘早安美國(guó)（Good Morning America）’和CNN進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)PCR檢測(cè)?！?/p>

美國(guó)郵政局擔(dān)心未來(lái)再次發(fā)生通過(guò)郵件的生物攻擊，邀請(qǐng)所有擁有生物探測(cè)技術(shù)的公司來(lái)展示他們的產(chǎn)品。2001年12月，Cepheid對(duì)其設(shè)備完成了測(cè)試?！八谋憩F(xiàn)非常完美，”Petersen說(shuō)。

經(jīng)過(guò)數(shù)月的額外測(cè)試，Cepheid與諾斯洛普·格魯門公司（Northrop Grumman）合作打造了一款PCR生物檢測(cè)器，可以很容易地連接到郵件分揀機(jī)。Petersen說(shuō)，該產(chǎn)品于2003年推出，如今美國(guó)所有的郵件仍在利用Cepheid公司的設(shè)備進(jìn)行炭疽篩查?，F(xiàn)在，Cepheid公司的系統(tǒng)主要用于醫(yī)療診斷，包括鏈球菌、諾如病毒、流感和衣原體等。Cepheid公司正在銷售20多款經(jīng)美國(guó)食品和藥物管理局（FDA）批準(zhǔn)的診斷測(cè)試產(chǎn)品。

再出發(fā)！打造全球MEMS時(shí)鐘解決方案領(lǐng)導(dǎo)者SiTime

到了2003年，Petersen已經(jīng)為下一步規(guī)劃做好了準(zhǔn)備。這次，他想探索硅諧振器，這些器件可以為精確時(shí)鐘產(chǎn)生恒定的頻率?！爱?dāng)我還在IBM時(shí)，我已經(jīng)構(gòu)建了第一批MEMS諧振器，但它們還不夠好，無(wú)法與石英晶體振蕩器競(jìng)爭(zhēng)，”他說(shuō)。

Tom Kenny、Markus Lutz和Aaron Partridge三位研究人員，開(kāi)發(fā)了一種更好的方案。Petersen說(shuō)：“這些家伙用單晶硅制造諧振器，這是世界上最完美的材料。多晶材料在受到應(yīng)力時(shí)會(huì)在晶界處產(chǎn)生輕微的位移。即使只是一個(gè)或兩個(gè)原子隨時(shí)間的移動(dòng)也會(huì)引起機(jī)械性能的變化。單晶硅不會(huì)隨時(shí)間變化，但其共振頻率會(huì)隨溫度而變化，因此挑戰(zhàn)在于如何消除溫度依賴性?！?/p>

有意思的是，Petersen、Kenny、Lutz、Partridge和Joe Brown（曾在Transensory和NovaSensor與Petersen合作的IBM前同事），又一次來(lái)到了加州咖啡館用餐，并在另一張紙墊上起草了新的商業(yè)計(jì)劃書。關(guān)于這項(xiàng)技術(shù)，行業(yè)巨頭羅伯特博世（Robert Bosch）擁有一些核心知識(shí)產(chǎn)權(quán)，因此除了引進(jìn)投資者外，Petersen不得不說(shuō)服德國(guó)的博世高管授權(quán)該技術(shù)。

“我去德國(guó)斯圖加特與博世集團(tuán)董事會(huì)舉行了一次大型會(huì)議，”Petersen說(shuō)，“我告訴他們，‘這就是我要做的，創(chuàng)業(yè)我很有經(jīng)驗(yàn)。我最近創(chuàng)辦的公司正在為全美所有的郵件篩查炭疽病毒’”。最后，博世董事會(huì)不僅同意授權(quán)該技術(shù)，還同意進(jìn)行大筆投資。

新公司SiTime于2004年12月成立，旨在推動(dòng)數(shù)十億美元的時(shí)鐘產(chǎn)業(yè)從石英轉(zhuǎn)向硅。SiTime于2007年出貨了首款硅諧振器。如今，其MEMS振蕩器已廣泛應(yīng)用于各類移動(dòng)設(shè)備及許多其他電子儀器。

2008年，SiTime的運(yùn)營(yíng)情況很順利，這時(shí)Petersen的Cepheid公司聯(lián)合創(chuàng)始人之一McMillan，帶著另一個(gè)創(chuàng)業(yè)想法找到了Petersen，希望一起打造一款植入式連續(xù)血糖監(jiān)測(cè)儀。Petersen說(shuō)：“30多年來(lái)，人們一直在努力實(shí)現(xiàn)植入式連續(xù)血糖監(jiān)測(cè)，但是還沒(méi)有人成功。一旦植入傳感器，人體會(huì)開(kāi)始用膠原蛋白將其隔離，最終阻止血液中的葡萄糖到達(dá)傳感器?！?/p>

為此，McMillan與杜克大學(xué)（Duke University）研究員Natalie Wisniewski合作，提出了一種解決方案，使用結(jié)構(gòu)化水凝膠來(lái)避免異物反應(yīng)，并利用熒光讀數(shù)來(lái)測(cè)量葡萄糖濃度。于是，Petersen重拾他的光學(xué)老本行，幫助產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在這家名為Profusa的創(chuàng)業(yè)公司待了一年?，F(xiàn)在，該公司大約有30名員工，2018年8月剛剛完成了4500萬(wàn)美元C輪融資。

從成功的連續(xù)創(chuàng)業(yè)者，轉(zhuǎn)型天使投資人

Petersen說(shuō)，這應(yīng)該是他最后一次全職出場(chǎng)，“我只是不想再做日常的公司事務(wù)了。我開(kāi)始做天使投資，這個(gè)工作更有意思?！?/p>

科技天使：現(xiàn)在Petersen致力于為初創(chuàng)公司提供投資和建議，“每天都與幾位創(chuàng)業(yè)者見(jiàn)面溝通，這很有意思，”他說(shuō)。

不過(guò)，后來(lái)又有一支新團(tuán)隊(duì)，他似乎無(wú)法拒絕。兩位來(lái)自伯克利（Berkeley）的學(xué)生開(kāi)發(fā)出了一種用于MEMS諧振器的新技術(shù)，他們正在努力將其商業(yè)化。Petersen和K.G. Ganapathi加入了這兩位學(xué)生的公司，公司后來(lái)更名為Verreon，Petersen擔(dān)任了首席技術(shù)官，幫助協(xié)調(diào)該公司在2010年出售給高通（Qualcomm）。

這是Petersen第三次擔(dān)任首席技術(shù)官或同等職位。在他所有的創(chuàng)業(yè)公司中，他只在SiTime擔(dān)任過(guò)一次首席執(zhí)行官（CEO）。“在NovaSensor，另兩位想擔(dān)任總裁，”與該公司合作的營(yíng)銷顧問(wèn)Roger Grace說(shuō)，“Kurt并不在意，他擔(dān)任了首席技術(shù)官。他不是一個(gè)以自我為導(dǎo)向的人?！?/p>

“在MEMS領(lǐng)域，所有人對(duì)Kurt都是稱頌有加，因?yàn)樗侨绱松屏?、有思想且?lè)于助人，”Grace評(píng)價(jià)說(shuō)，“聰明的人很多，但Kurt是獨(dú)一無(wú)二的，他非常成功卻又如此謙遜。在他身邊，就像穿著最舒適的鞋那樣讓人舒心。”

Ganapathi完全同意Grace的觀點(diǎn)，他說(shuō)：“通常情況下，你找不到像Kurt那樣成功并且非常受歡迎的人。”

如今，Petersen又回歸天使投資，瞄準(zhǔn)MEMS以及醫(yī)療器械和生物技術(shù)。他表示，他已經(jīng)投資了大約70家公司，其中近一半已經(jīng)證明是成功的，他的投資已經(jīng)獲得了350%的回報(bào)。這一數(shù)字著實(shí)非常驚人。根據(jù)最近的一項(xiàng)研究，擁有廣泛投資組合的長(zhǎng)期天使投資人，他們的典型回報(bào)率約為250%。

“這家伙有一種不可思議的能力，能夠敏銳地嗅出什么項(xiàng)目最終能成為可商業(yè)化的產(chǎn)品。盡管可能還需要3年甚至15年的培育，但他就是有這個(gè)判斷能力，”Ganapathi說(shuō)。

Petersen于2012年加入Silicon Valley Band of Angels，這是一個(gè)僅限邀請(qǐng)的投資集團(tuán)，約有200名投資者，他們會(huì)定期碰頭交流并分享信息。他現(xiàn)在領(lǐng)導(dǎo)著硬件小組。他還在兩家公司的董事會(huì)任職，并擔(dān)任其他十幾家公司的顧問(wèn)導(dǎo)師。他每天都會(huì)和他的幾位顧問(wèn)會(huì)面，通過(guò)電話與加拿大和東海岸的公司保持聯(lián)系。

71歲的Petersen現(xiàn)在還看不到什么時(shí)候會(huì)退休?！捌髽I(yè)家們總是精力充沛，充滿活力，雄心壯志，圍繞他們工作太有趣了！”Petersen如是說(shuō)。