電感測(cè)微儀是一種能夠測(cè)量微小尺寸變化的精密測(cè)量?jī)x器，它由主體和測(cè)頭兩部分組成，配上相應(yīng)的測(cè)量裝置（例如測(cè)量臺(tái)架等），能夠完成各種精密測(cè)量。

被廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械制造業(yè)、晶體管和集成電路制造業(yè)以及國(guó)防、科研、計(jì)量部門的精密長(zhǎng)度測(cè)量。目前，國(guó)內(nèi)常用的電感測(cè)微儀有指針式和數(shù)字式兩種，存在的問題較多，如高精度測(cè)量范圍小，零位調(diào)節(jié)不方便、功能單一和通用性差等。它通過編制軟件實(shí)現(xiàn)儀表的高精度、智能化、多功能化，經(jīng)過反復(fù)的實(shí)驗(yàn)與使用，已證明其精度高、操作方便、性能穩(wěn)定。

⑴在運(yùn)算放大器的選擇上，本儀器均采用低漂移、低噪聲的運(yùn)算放大器OP07.由OP07組成了集成化的交、直流放大器電路，雙T網(wǎng)絡(luò)正弦波發(fā)生器，集成的相敏檢波電路和濾波器等，省去了傳統(tǒng)電感測(cè)微儀使用的二極管、三極管和變壓器等，使得由二極管和三極管造成的非線性特性以及飽和壓降和反向電流得以改善；省去變壓器，調(diào)試制作比較方便，重量也較輕，可靠性增強(qiáng)。

⑵本儀器選用了逐次比較式12位A/D轉(zhuǎn)換器AD574，它的非線性誤差小于±1/2LBS或±1LBS，一次轉(zhuǎn)換時(shí)間約為25μs ，因其片內(nèi)配有三態(tài)輸出緩沖器，可直接與各種典型的8位和16位微處理器相連，滿足了測(cè)量精度和實(shí)時(shí)顯示的要求，應(yīng)用非常方便。

⑶本儀器采用了專業(yè)的顯示器及鍵盤接口芯片8279，單個(gè)芯片就能完成鍵盤輸入和LED顯示控制兩種功能，顯示方式為動(dòng)態(tài)顯示，6位LED顯示器可以實(shí)現(xiàn)顯示測(cè)量結(jié)果。整機(jī)設(shè)有5個(gè)功能鍵，能夠?qū)崿F(xiàn)如下功能：顯示被測(cè)工件的峰值，并把峰值存入數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，留待處理；可以進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，顯示一百個(gè)工件分組后各組的平均值和極值，直方圖的頻數(shù)，總平均值和極值；可以進(jìn)行絕對(duì)測(cè)量和相對(duì)測(cè)量的轉(zhuǎn)換；可以設(shè)定被測(cè)工件的上、下偏差，當(dāng)被測(cè)工件的峰值超出設(shè)定值時(shí)，就要報(bào)警顯示；可以實(shí)現(xiàn)±500μm和±30μm檔的轉(zhuǎn)換。

此智能電感測(cè)微儀在設(shè)計(jì)上充分利用了單片機(jī)的系統(tǒng)功能，增加了統(tǒng)計(jì)分析、超差報(bào)警、絕對(duì)零點(diǎn)與相對(duì)零點(diǎn)的轉(zhuǎn)換等功能，使儀器的性能有了較大的提高；采用單片機(jī)8031進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，用軟件進(jìn)行非線性修正，使高精度測(cè)量范圍成倍擴(kuò)展，用軟件進(jìn)行絕對(duì)零點(diǎn)與相對(duì)零點(diǎn)的轉(zhuǎn)換，零位調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便，功能擴(kuò)展除了增加少量接口芯片外，主要由軟件實(shí)現(xiàn)；硬件電路中，前向通道電路采用了集成電路，克服了以往采用變壓器、二極管、三極管組成電路的非線性特性大、零漂嚴(yán)重等缺點(diǎn)；采用了切實(shí)可行的抗干擾措施，使整機(jī)測(cè)量精度高、可靠性好、穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)。

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