MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。其中MEMS加速度傳感器被現(xiàn)在廣泛應(yīng)用在各個(gè)有著需要運(yùn)動(dòng)的領(lǐng)域中。

因?yàn)橐粋€(gè)國(guó)家的航天發(fā)展程度反映著該國(guó)的科技的整體水平，所以隨著航天科技的飛速發(fā)展傳感器的小型化、多功能、機(jī)動(dòng)性、高性能的也隨之提高，所以人們對(duì)傳感器在航天領(lǐng)域的要求更為苛刻和重要例如航天慣性傳感器在體積、重量、性能方面的要求很高。在這中情況下MEMS加速度計(jì)隨之研發(fā)出來(lái)，因?yàn)樾⌒突?、高性能、高可靠性、?zhǔn)確性、穩(wěn)定性被應(yīng)用在航天、軍事等重要領(lǐng)域。

那么MEMS電容式加速度計(jì)的工作原理是什么呢？

MEMS電容式加速度計(jì)具有高精度、低溫度敏感系數(shù)、低功耗、寬動(dòng)態(tài)范圍、微機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)等優(yōu)點(diǎn)成為目前國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。因?yàn)橛兄芎玫闹绷黜憫?yīng)、較好的信噪比、負(fù)載阻抗高、受磁場(chǎng)干擾小、易自檢、高靈敏度、低溫漂等在低頻響方面可以響應(yīng)靜態(tài)或者直流加速度，因?yàn)楸粡V泛應(yīng)用。

其基工作原理就是將電容作為檢測(cè)接口，來(lái)檢測(cè)由于慣性力作用導(dǎo)致慣性質(zhì)量塊發(fā)生的微位移。質(zhì)量塊由彈性微梁支撐連接在基體上，檢測(cè)電容的一個(gè)極板一般配置在運(yùn)動(dòng)的質(zhì)量塊上一個(gè)極板配置在固定的基體上，能夠利用靜電力實(shí)現(xiàn)反饋閉環(huán)控制，顯著提高傳感器的性能。

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