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國(guó)產(chǎn)電容式MEMS壓力傳感器得到實(shí)現(xiàn)

蘇冬 ? 來源:jf_94815006 ? 作者:jf_94815006 ? 2025-02-19 12:43 ? 次閱讀
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MEMS壓力傳感器是技術(shù)與資本密集型產(chǎn)業(yè),國(guó)內(nèi)缺乏從事MEMS壓力芯片研發(fā)與量產(chǎn)的企業(yè),MEMS國(guó)產(chǎn)率很低。午芯芯科技是目前國(guó)內(nèi)唯一家擁有電容式壓力芯片的企業(yè)。午芯芯科技MEMS電容式壓力芯片擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),已獲10項(xiàng)專利授權(quán),從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)均在國(guó)內(nèi)完成,實(shí)現(xiàn)了MEMS電容式壓力芯片領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化替代,突破了國(guó)外對(duì)電容式壓力芯片設(shè)計(jì)制造的卡脖子技術(shù),解決了國(guó)外專利知識(shí)產(chǎn)權(quán)的卡脖子問題,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)技術(shù)空白,芯片通過了東北國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心測(cè)試,精度等級(jí)為0.01%級(jí)別,芯片性能達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平,是國(guó)內(nèi)第一個(gè)高精度小量程產(chǎn)品化的 MEMS電容式壓力芯片,靈敏度達(dá)到厘米級(jí),無需衛(wèi)星信號(hào),自成系統(tǒng),應(yīng)用于戰(zhàn)斗機(jī)、無人機(jī)、導(dǎo)彈、炮彈等定位海拔高度系統(tǒng),與慣導(dǎo)系統(tǒng)配合,無需衛(wèi)星導(dǎo)航,也能精準(zhǔn)命中目標(biāo),此芯片也可應(yīng)用于熱電池系統(tǒng),對(duì)熱電池內(nèi)部壓力和溫度進(jìn)行監(jiān)控,提高電池續(xù)航時(shí)間,大量應(yīng)用于手機(jī),消費(fèi)電子,汽車,無人機(jī),家電,工業(yè),醫(yī)療,航空航天,軍工等領(lǐng)域,該芯片具有低功耗,高精度,高分辨率,溫度特性優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn)。

傳感器靈敏度:±0.5Pa(或±0.05m)(標(biāo)準(zhǔn)模式下即可達(dá)到)
相對(duì)精度:±0.06hPa(或±0.5m)
絕對(duì)精度:±1hPa(或±8m)
工作壓力:300~1200hPa
工作溫度:-40~85°C
溫度精度:±0.5°C
壓力溫度敏感度:0.5Pa/K
測(cè)量時(shí)間:典型值:標(biāo)準(zhǔn)模式為 27.6ms(16 倍),最小值:3.6ms 為低精度模式
平均電流消耗量:大氣壓力工作電流為 2μA;1.5uA 1Hz 采樣率的溫度測(cè)量;休眠電流 0.5μA
電源電壓:VDDIO:2.0~5.5V
校準(zhǔn):使用測(cè)量校正的系數(shù)進(jìn)行單獨(dú)校正,產(chǎn)品出廠已校準(zhǔn)
接口:I 2C 和 SPI(均具有可選的中斷)
包裝尺寸:8 引腳 LGA,2.0mm x 2.5mm x 1.0mm

典型應(yīng)用
? 室內(nèi)導(dǎo)航(樓層檢測(cè)等,例如在商場(chǎng)和停車場(chǎng))
? 健康和運(yùn)動(dòng)(準(zhǔn)確的仰角增益和垂直速度)
? 戶外導(dǎo)航(GPS 啟動(dòng)時(shí)間和精度改進(jìn),如隧道內(nèi)的航位推算)
? 氣象站(“微天氣”和本地天氣預(yù)報(bào))
? 硬盤驅(qū)動(dòng)程序(硬盤驅(qū)動(dòng)器中的泄漏率檢測(cè))
? 無人機(jī)(飛行穩(wěn)定性和高度控制)

午芯芯科技有限公司是一家專注于MEMS芯片研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售于一體的科技創(chuàng)新型企業(yè),其生產(chǎn)的MEMS電容式壓力芯片是由哈工大、沈理工的多位博導(dǎo)、教授帶領(lǐng)的科研團(tuán)隊(duì),進(jìn)行成果轉(zhuǎn)化,已獲得授權(quán)10項(xiàng)芯片架構(gòu)專利,擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),達(dá)到《軍用電子元器件可控評(píng)估》A級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

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審核編輯 黃宇

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