微捷碼(Magma)設(shè)計自動化有限公司日前宣布推出一款完整的代工廠分析框架——Excalibur-Litho，支持先進(jìn)光刻解決方案的開發(fā)和監(jiān)控。Excalibur-Litho是首款集成了設(shè)計數(shù)據(jù)和缺陷、度量和工具歷史等半導(dǎo)體制造車間作業(yè)實時數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，實現(xiàn)了無與倫比的數(shù)據(jù)分析、監(jiān)控和流程控制水平。Excalibur-Litho通過專利聚合的基于設(shè)計的分級、電力交叉映射與代工廠范圍數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)技術(shù)，再結(jié)合與內(nèi)嵌式光刻質(zhì)檢解決方案，優(yōu)化了良率的改進(jìn)，實現(xiàn)了前所未有的缺陷隔離與根本原因分析。

　　“ Excalibur-Litho以經(jīng)過驗證的代工廠分析框架為基礎(chǔ)，提供了對基于光刻的在線缺陷的全面檢查，”微捷碼Fab分析業(yè)務(wù)部總經(jīng)理兼副總裁Ankush Oberai表示。“通過利用一款經(jīng)驗證且已接入設(shè)計和代工廠數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)設(shè)施，Excalibur-Litho可將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化知識，加速了基于光刻的流程的改善速度。”

　　應(yīng)用材料公司(Applied Materials Inc.)和微捷碼于2月XX日宣布攜手合作，將微捷碼基于CAD的導(dǎo)航和良率分析軟件(包括Excalibur-Litho)與應(yīng)用材料公司的先進(jìn)檢測系統(tǒng)集成在一起。這種設(shè)計與制造工具的獨(dú)特組合已為多家客戶的先進(jìn)技術(shù)節(jié)點的開發(fā)和生產(chǎn)提供了加速的光刻質(zhì)量檢驗和改善的芯片良率。

　　Excalibur-Litho：從數(shù)據(jù)到知識

　　Excalibur-Litho會采集并組織制造流程的各種數(shù)據(jù)，包括缺陷、度量、電力工具和制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)數(shù)據(jù)。晶圓信息會被堆棧在一起，輕松地交叉映射到任一個版圖、電路原理圖或網(wǎng)表設(shè)計表征上，使得分析更為容易。

　　Excalibur-Litho基于微捷碼所開發(fā)的革命性開放架構(gòu)數(shù)據(jù)庫而創(chuàng)建，實現(xiàn)了安全的CAD訪問和輕松的代工廠集成。這種開放架構(gòu)還確保了與大多數(shù)檢測工具和良率分析數(shù)據(jù)庫的互操作性。