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化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用及存在問題

2021-06-04 | rar | 0.10 MB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

  在亞微米半導(dǎo)體制造中 , 器件互連結(jié)構(gòu)的平坦化正越來越廣泛采用化學(xué)機(jī)械拋光 (CMP) 技術(shù) , 這幾乎是目前唯一的可以提供在整個(gè)硅圓晶片上全面平坦化的工藝技術(shù)。本文綜述了化學(xué)機(jī)械拋光的基本工作原理、發(fā)展?fàn)顩r及存在問題。

CMP 機(jī)械拋光
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