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摘要：研究用增加多子保護環(huán)的方法抑制功率集成電路的閂鎖效應(yīng)，首次給出環(huán)距、環(huán)寬設(shè)計與寄生閂鎖觸發(fā)閾值的數(shù)量關(guān)系，并比較了不同結(jié)深的工序作為多子環(huán)的效果。對于確定的設(shè)計規(guī)則，還比較了不同電阻率襯底材料的cMOs單元中的閂鎖效應(yīng)，結(jié)果表明合理設(shè)計可以有效地改善高阻襯底的寄生閂鎖效應(yīng)，仿真結(jié)果驗證了正確性。
關(guān)鍵詞：閂鎖效應(yīng)；多子保護環(huán)；高阻襯底
關(guān)鍵詞：閂鎖效應(yīng)；多子保護環(huán)；高阻襯底
集成電路
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