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本文主要介紹了兩種不同的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的蒸金鍍膜的方法以他們在現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用及帶來的經(jīng)濟(jì)效果。
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