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通過Sawyer2Tower 測(cè)試電路研究了鐵電薄膜的電滯回線,發(fā)現(xiàn)薄膜漏電阻以及示波器輸入
電阻和電容的影響可能會(huì)使所測(cè)量的電滯回線發(fā)生形狀扭曲或者使測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)較大偏差,通過數(shù)值補(bǔ)償方法重建了電荷平衡方程,并編制了相應(yīng)的軟件補(bǔ)償程序。通過對(duì)溶膠2凝膠制備的PZT鐵電薄膜的電滯回線測(cè)試表明,運(yùn)用該數(shù)值補(bǔ)償方法可以有效補(bǔ)償薄膜漏電阻以及示波器輸入電阻和電容對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,滿足PZT 鐵電薄膜制備技術(shù)以及微機(jī)電系統(tǒng)中器件設(shè)計(jì)對(duì)薄膜性能測(cè)試的要求。
關(guān) 鍵 詞:電滯回線;極化;PZT ;數(shù)值補(bǔ)償
電阻和電容的影響可能會(huì)使所測(cè)量的電滯回線發(fā)生形狀扭曲或者使測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)較大偏差,通過數(shù)值補(bǔ)償方法重建了電荷平衡方程,并編制了相應(yīng)的軟件補(bǔ)償程序。通過對(duì)溶膠2凝膠制備的PZT鐵電薄膜的電滯回線測(cè)試表明,運(yùn)用該數(shù)值補(bǔ)償方法可以有效補(bǔ)償薄膜漏電阻以及示波器輸入電阻和電容對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,滿足PZT 鐵電薄膜制備技術(shù)以及微機(jī)電系統(tǒng)中器件設(shè)計(jì)對(duì)薄膜性能測(cè)試的要求。
關(guān) 鍵 詞:電滯回線;極化;PZT ;數(shù)值補(bǔ)償
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