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因?yàn)楣に囆枨?，需要將晶圓開片解成條狀用于工藝驗(yàn)證測試等，如下為百度類似的控制系統(tǒng)框圖，來自于百度搜索的圖片，原理為在wafer上快速劃線在背面施加壓力開裂wafer。
主要共分為六個(gè)裝置
1. 劃刀上下控制設(shè)備
2. 施力滾輪控制設(shè)備
3. 控制劃刀進(jìn)行切割的控制設(shè)備
4. X軸電動(dòng)平移臺(tái)
5. Y軸電動(dòng)平移臺(tái)
6. Z軸旋轉(zhuǎn)平移臺(tái)
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1. 劃刀上下控制設(shè)備
2. 施力滾輪控制設(shè)備
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4. X軸電動(dòng)平移臺(tái)
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