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日本電子株式會(huì)社:推出新型肖特基場(chǎng)發(fā)射(FE)掃描電子顯微鏡JSM-F100

西西 ? 來源:日本電子株式會(huì)社 ? 作者:廠商供稿 ? 2019-08-05 10:27 ? 次閱讀
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日本電子株式會(huì)社:推出新型肖特基場(chǎng)發(fā)射(FE)掃描電子顯微鏡JSM-F100

―全新級(jí)別的智能分析場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM),兼具高分辨率和強(qiáng)大的可操作性―

東京--(BUSINESS WIRE)--(美國(guó)商業(yè)資訊)--日本電子株式會(huì)社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(總裁兼首席運(yùn)營(yíng)官:大井泉)宣布,將于2019年8月推出新型肖特基(Schottky)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-F100。

背景

掃描電子顯微鏡(SEM)應(yīng)用于不同的領(lǐng)域:納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、醫(yī)學(xué)和生物學(xué)等。隨著應(yīng)用范圍的擴(kuò)大,SEM用戶需要快速、高質(zhì)量的數(shù)據(jù)采集及簡(jiǎn)單的組成信息確認(rèn)和無縫操作。

JSM-F100搭載我們備受推崇的浸沒式(In-lens)肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍和“Neo Engine”(電子光學(xué)控制系統(tǒng)),以及全新的GUI “SEM Center”和創(chuàng)新的“實(shí)時(shí)圖像視覺增強(qiáng)器-人工智能(LIVE-AI)濾鏡”,實(shí)現(xiàn)了高空間分辨率成像和可操作性的最優(yōu)組合。此外,標(biāo)配的JEOL能量色散型X射線光譜儀(EDS)完全整合于“SEM Center”內(nèi),可實(shí)現(xiàn)從圖像到元素分析結(jié)果的無縫采集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我們之前的JSM-7000系列50%或以上,實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)量的顯著提高。

特性

浸沒式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍

電子槍與低像差聚光透鏡的進(jìn)一步整合帶來更高的亮度。低加速電壓下具有足夠的探頭電流,支持從高分辨率成像到高速元素映射的各種功能。

混合式透鏡(HL)

混合式透鏡(HL)將靜電場(chǎng)鏡和磁場(chǎng)透鏡相結(jié)合,支持各種樣品的高空間分辨率成像和分析。

Neo Engine(新型電子光學(xué)引擎)

Neo Engine是一款先進(jìn)的電子光學(xué)控制系統(tǒng),可顯著提高自動(dòng)化功能的精確度和可操作性。

“SEM Center”新功能

全新GUI “SEM Center”全面整合SEM成像和EDS分析,提供借助FE-SEM實(shí)現(xiàn)的下一代可操作性和高分辨率圖像。

“Zeromag”新功能

整合的“Zeromag”可實(shí)現(xiàn)從光學(xué)成像到SEM成像的無縫過渡,讓定位目標(biāo)樣品區(qū)域變得十分輕松。

全新LIVE-AI濾鏡*

通過利用人工智能(AI)功能,整合的LIVE-AI濾鏡可以提供更高質(zhì)量的實(shí)時(shí)圖像。與圖像融合處理不同,這款新的濾鏡能夠顯示無縫移動(dòng)的實(shí)時(shí)圖像,無殘留圖像,對(duì)于快速搜索觀察區(qū)域、對(duì)焦和消像散器調(diào)整十分有效。

*選配

規(guī)格

分辨率(1 kV) 1.3納米

分辨率(20 kV) 0.9納米

加速電壓 0.01至30 kV

標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)器 高位電子檢測(cè)器(UED),二次電子檢測(cè)器(SED)

電子槍 浸沒式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍

探頭電流 幾pA至300 nA (30 kV)
幾pA至100 nA (5 kV)

物鏡 混合式透鏡(HL)

樣品臺(tái) 全優(yōu)中心(eucentric)測(cè)角儀樣品臺(tái)

樣品移動(dòng) X軸:70毫米,Y軸:50毫米,Z軸:2至41毫米
傾斜: –5至70°,旋轉(zhuǎn):360°

EDS檢測(cè)器 能量分辨率:133 eV或更低
可檢測(cè)元素:B(硼)至U(鈾)
檢測(cè)面積:60平方毫米

目標(biāo)年銷量

60臺(tái)/年

日本電子株式會(huì)社

3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan

大井泉,總裁兼首席運(yùn)營(yíng)官

(股票代碼:6951,東京證券交易所第一部)


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