很多人以為穿透式電子顯微鏡ＴＥＭ就是倍率比較高的掃描式電子顯微鏡ＳＥＭ，但其實(shí)ＴＥＭ擁有許多強(qiáng)大的應(yīng)用，是科技業(yè)不可或缺的研發(fā)檢測(cè)工具。

TEM可提供以下幾種模式影像及成分分析:

?TEM Bright Field (BF明場(chǎng)像)/

Dark field (DF暗場(chǎng)像)/

High Resolution Image (HREM高解析影像)

?STEM Bright Field/ High Angle Annual Dark Field (HAADF) Image

?EDS Mapping/Line Scan/Probe Spectrum

?Selective Area Diffraction (SAD)

?Nano Beam Diffraction (NBD)

?EELS Mapping/Line Scan/Probe Spectrum (2026Q1推出)

季豐電子擁有非常完善的TEM設(shè)備，將會(huì)依客戶的需求提供有針對(duì)性的分析方法，若有需求可與我們聯(lián)絡(luò)。

今天主要介紹由同一個(gè)樣品呈現(xiàn)STEM的三種模式及 EDX Mapping給大家參考。

STEM是將電子束聚焦在一個(gè)點(diǎn)上，由多個(gè)點(diǎn)連成線，由線連成面的掃描方式進(jìn)行，STEM模式最常用的三種模式是HAADF/BF/DF。

HAADF

HAADF(高角度環(huán)形暗場(chǎng)像)是掃描透射電子顯微鏡(STEM)模式下的一種成像技術(shù)，通過(guò)收集高角度散射電子形成原子序數(shù)(Z)依賴的襯度像。

因此，較重的元素產(chǎn)生較強(qiáng)的信號(hào)，從而產(chǎn)生更亮的對(duì)比度。相反，較輕的元素導(dǎo)致較暗的對(duì)比度。ZC(原子序數(shù)對(duì)比度)是其應(yīng)用之一。

BF

BF圖像由質(zhì)量厚度和衍射襯度組成，而放置在后焦明面的物鏡光圈僅允許直射光束通過(guò)。而圖像中可以看到具有暗對(duì)比度的結(jié)晶晶相，和HAADF像的襯度基本相反。

DF

DF是一種重要的透射電子顯微鏡(TEM)工作模式，通過(guò)選擇性收集散射電子束形成圖像，這種圖像可用于量測(cè)晶粒尺寸和缺陷，例如錯(cuò)位、堆疊層錯(cuò)及孿晶。

EDX

EDX即能量色散譜儀，是一種用于材料微區(qū)成分分析的儀器，通過(guò)檢測(cè)特征X射線的能量和強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)元素種類與含量的定性和定量分析。它常與掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)聯(lián)用，在納米至微米尺度上進(jìn)行成分表征。

該技術(shù)在檢測(cè)較重原子方面更為有效，配備尺寸小于5納米的TEM EDX電子光束，仍可以分析較輕的原子。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測(cè)相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的賦能型平臺(tái)科技公司。公司業(yè)務(wù)分為四大板塊，分別為基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、軟硬件開發(fā)、測(cè)試封裝和儀器設(shè)備，可為芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、材料裝備等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測(cè)分析解決方案。

季豐電子通過(guò)國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機(jī)構(gòu)、公共服務(wù)平臺(tái)等企業(yè)資質(zhì)認(rèn)定，通過(guò)了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認(rèn)證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設(shè)有子公司。