（文章來源：iVacuum）

抽氣速率一詞在我國已經(jīng)沿用了幾十年，嚴格地說，它不規(guī)范、不確切。國際標準中早已稱為體積流率，但我國的GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語中，前后存在矛盾。在一般術(shù)語中已有“體積流率”的定義，但在真空泵及有關(guān)術(shù)語中，又有“真空泵的抽氣速率(體積流率)”定義，雖然英譯名已為volume flow rate of a vacuum pump，但中文仍稱作抽氣速率(體積流率)，這是不嚴肅的，而且在幾乎所有產(chǎn)品標準中都仍采用抽氣速率，應盡快改正為體積流率。

體積流率的定義為：按規(guī)定條件工作時，從標準測試罩流過的氣體流量與在測試罩指定位置測得的平衡壓力之比。

在GB/T19956.1—2005的附錄A中給出的滴管流量計中，滴管直徑(mm)為1.5、3、5、10、20、…….、200；而DIN28427—1983中規(guī)定：滴管內(nèi)徑不得小于12mm，為什么有這樣的規(guī)定？對此我們做了不同直徑滴管測量“體積流率”的對比，如表1所示。

從對比數(shù)據(jù)中可以看出，滴管內(nèi)徑1.5mm與5mm相比較，二者所測得的體積流率偏差最大達16%以上。而5mm滴管與15mm滴管相比較，則偏差不大。因此1.5mm和3mm二種孔徑的滴管不應再使用，5mm孔徑的滴管雖然偏差較小，也不建議使用。小直徑滴管產(chǎn)生偏差的原因是流動阻力大，口徑越小、流速越大，流動阻力越大。

當年，我們?yōu)榱藬U大滴管的量程，曾嘗試用汞取代變壓器油作滴管流量計的工作液，結(jié)果出現(xiàn)了更大的偏差。究其原因，是汞的內(nèi)聚力太強了，它是一種在同種物質(zhì)內(nèi)部相鄰各部分之間的相互吸引力，是它在阻礙相鄰各部分之間的相對運動，因此汞的流動阻力更大。

由于滴管流量計在測量小流量方面存在一定的局限性，我們研發(fā)了一種新穎的真空滴管流量計，它既可在大氣壓狀態(tài)下使用，又可在真空狀態(tài)下使用，使它的量程向小流量方向拓展，因此可以完美解決上述問題。

JB/T 7675—2005“往復真空泵”中的流量測量裝置已太陳舊了，它不但需要一個體積龐大的儲氣罐，而且容積要求不小于氣缸理論抽氣容積的20倍，也就是說，一臺600L/s的往復泵在測量體積流率時需配備一個2m3以上的儲氣罐。此外，還需要配備連接管道、調(diào)節(jié)閥和根據(jù)不同流量所選擇的噴嘴及配套的風管，測量中還需根據(jù)不同流量調(diào)換噴嘴和風管。

我們認為，可以使用GB/T 13930—92“水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機氣量測定方法”中的計量噴嘴來進行往復泵氣量的測量。在執(zhí)行GB/T 13930—92的過程中，我們發(fā)現(xiàn)由于“集束效應”，從噴嘴中進入的超音速氣流測試罩內(nèi)后壓力的均衡性和穩(wěn)定性較差，因此測試罩的長度L與直徑D之比應大于5。由于“計量噴嘴”結(jié)構(gòu)簡單、測量方便、有較高的準確度，在容積泵體積流率的測量中得到了廣泛的應用。

必須指出的是，計量噴嘴應盡量避免壓力在3kPa以下時使用，因為在低壓狀態(tài)下噴嘴的“集束效應”更嚴重；同時，低壓狀態(tài)下開啟的噴嘴孔徑都很?。?.5mm、2mm等），“附面層”（流體動力學）雖然很薄，但對小口徑的噴嘴而言，已有明顯的影響，而且這種影響很難消除。

在JB/T6533旋片真空泵和JB/T1246滑閥真空泵的技術(shù)要求中，規(guī)定“泵的幾何抽速應為名義抽速的1~1.2倍”，憶及當時起草這一條文時，是考慮到當時老產(chǎn)品多、規(guī)格不一，求大同、存小異，采取的臨時性規(guī)定，此后一直沿用至今。如今老產(chǎn)品都已經(jīng)淘汰，應當取消這一規(guī)定。實際上，國內(nèi)外所有容積泵的名義體積流率均為為幾何體積流率的圓整值，至于圓整值的偏差各有不同，不必、也不宜作具體規(guī)定。
（責任編輯：fqj）