根據(jù)韓國(guó)媒體《BusinessKorea》的報(bào)道，日前三星電子副董事長(zhǎng)李在镕前往荷蘭拜訪光刻機(jī)大廠ASML，其目的就是希望ASML的高層能答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購(gòu)買的極紫外光光刻設(shè)備（EUV）。

報(bào)道進(jìn)一步指出，目前三星極需要透過(guò)EUV光刻設(shè)備來(lái)優(yōu)化旗下晶圓代工業(yè)務(wù)的先進(jìn)制程，用以在市場(chǎng)上爭(zhēng)取客戶訂單，而進(jìn)一步拉近與晶圓代工龍頭臺(tái)積電的差距。目前，ASML是當(dāng)前全球唯一生產(chǎn)EUV設(shè)備的廠商，而EUV設(shè)備對(duì)于在晶圓代工中的先進(jìn)制程，尤其是在當(dāng)前最先進(jìn)的5納米或未來(lái)更進(jìn)一步的半導(dǎo)體制程中至關(guān)重要。而三星目前極需要將這些EUV設(shè)備安裝于三星正在建設(shè)的韓國(guó)平澤2號(hào)工廠的新晶圓代工產(chǎn)線，以及正在擴(kuò)建的韓國(guó)華城V1產(chǎn)線上。

據(jù)了解，三星電子已經(jīng)于2020年5月份，在韓國(guó)平澤的2號(hào)工廠中開始設(shè)置晶圓代工的產(chǎn)線，該公司計(jì)劃在該條新晶圓代工產(chǎn)線上投資約10萬(wàn)億韓元（約88億美元），并預(yù)計(jì)于2021年下半年開始全面量產(chǎn)。至于，在華城工廠內(nèi)的V1產(chǎn)線，則已經(jīng)于2019年投入運(yùn)營(yíng)，該產(chǎn)線專門以EUV技術(shù)來(lái)協(xié)助量產(chǎn)7納米制程的芯片。目前該產(chǎn)線正在擴(kuò)產(chǎn)中，預(yù)計(jì)未來(lái)將投入5納米和5納米以下更先進(jìn)制程的芯片生產(chǎn)。對(duì)此，三星也計(jì)劃到2020年底，將華城V1產(chǎn)線的晶圓月產(chǎn)能提升至2萬(wàn)片的規(guī)模。

就因?yàn)槿羌泳o對(duì)晶圓代工的先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)，因此確保EUV光刻設(shè)備能夠確實(shí)裝機(jī)，是目前三星最緊迫的任務(wù)。如果EUV設(shè)備的裝機(jī)時(shí)程被延后，則三星希望藉由EUV設(shè)備來(lái)優(yōu)化先進(jìn)制程，進(jìn)一步獲得全球半導(dǎo)體客戶青睞而取得訂單的機(jī)會(huì)，則可能會(huì)拱手讓給了競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手臺(tái)積電。

以目前來(lái)說(shuō)，三星目前已經(jīng)開始營(yíng)運(yùn)的有10部EUV設(shè)備，另外還已經(jīng)在2020年向ASML下單訂購(gòu)了約20部的EUV。但反觀臺(tái)積電則更是來(lái)勢(shì)洶洶，目前不僅已經(jīng)營(yíng)運(yùn)20部以上的EUV設(shè)備，還宣布到2022年時(shí)將再購(gòu)買60部EUV設(shè)備。這情況也讓李在镕更加心急，不得不飛往荷蘭與ASML高層進(jìn)行協(xié)商。
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