攀時擁有超過2000種適用于離子注入系統(tǒng)的部件產(chǎn)品，已成為全球最大的離子注入部件替代零件供應商。材料涉及鎢、鉬、石墨、陶瓷等，涵蓋了從最小的備件到整套離子發(fā)射源。

攀時從原材料品質控制開始，服務半導體OEM設備原廠，以及終端客戶，已經(jīng)有超過三十年的合作經(jīng)驗，甚至在某些產(chǎn)品方面，我們可以高于OEM標準生產(chǎn)部件。

半導體制造工藝中的應用特點

部件工作溫度高，伴有強腐蝕性氣體和強磁場。這對產(chǎn)品材質提出了極高的要求，所以在應用中多集中使用鉬、鎢、石墨、陶瓷等高物理化學穩(wěn)定性材料。這些材料將確保電子在高達1?400 ℃的溫度條件下形成并準確沿著電子路徑進行運動。

攀時在離子注入部件領域的優(yōu)勢

我們基于對原材料的理解，以OEM設備制造商的原始備件為起點，不停的對備件極限進行更深的探索，發(fā)現(xiàn)短板，提出新的設計，優(yōu)化改進現(xiàn)有方案，找到更合理的升級方法，延長產(chǎn)品使用壽命，降低客戶PM頻率，延長設備開機時長，從而降低整體運營成本。

例如：在IIP工藝中，MRS葉片濾出電荷或質量不正確的離子。只有通過質量分辨槽的離子才能在通向晶片的路徑上繼續(xù)運動。MRS板因離子束碰撞而產(chǎn)生磨損，側面角度可減小磨損。但是IIP工藝還涉及化學反應，而且磨損越大，相應表面上的角度越尖銳。作為折衷方案，在OEM標準零件中采用92 °的角度。

MRS板（OEM） 攀時優(yōu)化設計MRS板延長壽命

攀時在離子注入部件領域的努力

我們一直在追求更高的品質，不斷研發(fā)并推出新的產(chǎn)品，為客戶帶來更有價值的服務，同時，我們致力于：

降低清潔成本

減少維護工作量

縮短停工時間

簡化部件安裝和拆卸

延長使用壽命

攀時在離子注入部件領域的產(chǎn)品

我們可以提供超過100種以上離子注入系統(tǒng)備件，清單如下：

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