近日，上海市發(fā)改委公布2021年上海市重大建設(shè)項(xiàng)目清單，涵蓋了上海未來社會(huì)發(fā)展和與全球產(chǎn)業(yè)接軌所必需的幾個(gè)產(chǎn)業(yè)，共166個(gè)項(xiàng)目，其中包括中芯國際（SMIC）在內(nèi)的7家相關(guān)企業(yè)也入選。

項(xiàng)目清單顯示，在建的項(xiàng)目除了中芯國際的12英寸芯片SN1項(xiàng)目，還有華力微電子的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線、積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線、超硅半導(dǎo)體300mm集成電路硅片全自動(dòng)智能化生產(chǎn)線、精測半導(dǎo)體全球研發(fā)總部和裝備制造基地等項(xiàng)目。另外還有新開工的項(xiàng)目，包括格科半導(dǎo)體12英寸CIS集成電路研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、鼎泰半導(dǎo)體12英寸自動(dòng)化晶圓制造中心項(xiàng)目、新昇半導(dǎo)體300mm集成電路硅片研發(fā)與先進(jìn)制造新建項(xiàng)目、上海天岳碳化硅半導(dǎo)體材料項(xiàng)目以及上海臨港化合物半導(dǎo)體4英寸、6英寸量產(chǎn)線等項(xiàng)目。

據(jù)Wccftech報(bào)道，中芯國際的SN1晶圓廠位于浦東，將建立300mm晶圓生產(chǎn)線，重點(diǎn)發(fā)展14nm以下的先進(jìn)工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)，投資120億美元。建成后，每月產(chǎn)能為3.5萬片。目前中芯國際正在推進(jìn)7nm工藝，由于暫時(shí)無法獲得EUV光刻機(jī)，使得下一步發(fā)展受阻。華力微電子也計(jì)劃建立12英寸晶圓生產(chǎn)線，用于生產(chǎn)更先進(jìn)的集成電路。其華虹5號(hào)廠是國內(nèi)第一條全自動(dòng)芯片生產(chǎn)線，涵蓋了55nm、40nm和28nm工藝節(jié)點(diǎn)，每月可以生產(chǎn)35000片晶圓。目前還計(jì)劃在浦東康橋鎮(zhèn)附件建設(shè)另一家晶圓廠，目標(biāo)每月生產(chǎn)4萬片12英寸晶圓，覆蓋28nm到14nm工藝節(jié)點(diǎn)。

除了芯片制造，上下游產(chǎn)業(yè)目前國內(nèi)形成，正處于蓬勃發(fā)展時(shí)期。在這條供應(yīng)鏈中，設(shè)備制造企業(yè)或許是最重要的，上海微電子等是裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈的一部分，也在為早日擺脫限制而努力向前。
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