集微網(wǎng)消息，3月8日，上海新陽發(fā)布關(guān)于ASML-1400光刻機(jī)進(jìn)展的公告稱，現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作，該光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。

據(jù)披露，上海新陽自立項(xiàng)開發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以來，安排購買了ASML-1400光刻機(jī)等核心設(shè)備，并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請向特定對象發(fā)行股票的審核問詢函的回復(fù)》中披露，該光刻機(jī)將于2020年底前運(yùn)抵國內(nèi)。后由于公司與光刻機(jī)供應(yīng)商、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協(xié)調(diào)設(shè)備運(yùn)輸與安裝等細(xì)節(jié)，致使設(shè)備沒能在規(guī)定時(shí)間內(nèi)運(yùn)達(dá)，但與合作方就具體合作細(xì)節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》，并發(fā)布了《關(guān)于ASML-1400光刻機(jī)進(jìn)展暨簽訂<合作框架協(xié)議>的公告》，預(yù)計(jì)該光刻機(jī)將于2021年3月底前進(jìn)入合作方現(xiàn)場。

北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司與上海新陽將合作在北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司指定工廠搭建光刻膠驗(yàn)證平臺，該平臺由ArF光刻機(jī)（上海新陽負(fù)責(zé)提供）和涂膠顯影機(jī)（北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司負(fù)責(zé)提供）組成，用于先進(jìn)光刻膠驗(yàn)證。

上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響，有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，加快落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。

值得注意的是，該光刻機(jī)尚須經(jīng)過裝機(jī)、調(diào)試等相關(guān)環(huán)節(jié)，若相關(guān)環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機(jī)投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風(fēng)險(xiǎn)。

此外，光刻膠研發(fā)項(xiàng)目技術(shù)壁壘高、周期長、至產(chǎn)業(yè)化并最終實(shí)現(xiàn)銷售利潤仍需一定時(shí)間，而公司購買的光刻機(jī)設(shè)備價(jià)格昂貴，其折舊及后續(xù)維護(hù)費(fèi)用預(yù)計(jì)對公司的經(jīng)營業(yè)績存在一定影響。

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