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粗調(diào)與精調(diào)相結(jié)合的直線壓電螺釘分辨率達(dá)亞納米級(jí)

楊明遠(yuǎn) ? 來(lái)源:楊明遠(yuǎn) ? 作者:楊明遠(yuǎn) ? 2022-02-24 10:45 ? 次閱讀
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芯明天N82系列直線壓電螺釘采用小巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),將宏動(dòng)粗調(diào)與壓電精調(diào)結(jié)合于一體。使用操作簡(jiǎn)單方便,容易集成??捎糜?a target="_blank">高精度鏡架調(diào)節(jié)、運(yùn)動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)、微調(diào)節(jié)等應(yīng)用。

特點(diǎn)

?手動(dòng)調(diào)節(jié)與壓電調(diào)節(jié)相結(jié)合?粗調(diào)9.53mm?精調(diào)16μm

應(yīng)用

?鏡片調(diào)節(jié)架?運(yùn)動(dòng)平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器?宏微操作調(diào)節(jié)等

宏微復(fù)合結(jié)構(gòu)

壓電螺釘是手動(dòng)粗調(diào)與壓電精調(diào)相結(jié)合的直線壓電促動(dòng)器,手調(diào)行程可達(dá)9.53mm,精調(diào)行程16μm。使用過(guò)程中可以通過(guò)手動(dòng)粗調(diào)節(jié)mm級(jí)大行程,再通過(guò)壓電精調(diào)實(shí)現(xiàn)nm級(jí)的位移與精度,適用于大行程且具有高精度要求的應(yīng)用。

1)宏動(dòng)粗調(diào)

N82系列壓電螺釘?shù)暮陝?dòng)粗調(diào)是通過(guò)外部殼體上的微細(xì)螺紋來(lái)實(shí)現(xiàn)的,手動(dòng)旋轉(zhuǎn)滾花部分進(jìn)行直線的宏動(dòng)調(diào)節(jié)。

該宏動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)螺紋的加工精度要求非常高。

2)微動(dòng)粗調(diào)

N82系列壓電螺釘?shù)膬?nèi)部集成了PZT壓電陶瓷,通過(guò)對(duì)其施加電壓來(lái)實(shí)現(xiàn)壓電螺釘?shù)奈?dòng)精調(diào)運(yùn)動(dòng)。

3)鎖緊螺母

針對(duì)宏動(dòng)調(diào)節(jié),配備有鎖緊螺母,可對(duì)宏動(dòng)調(diào)節(jié)后的位置進(jìn)行鎖定。

體積小易集成

N82系列壓電螺釘?shù)耐庑纬叽缧∏桑m于集成,例如用于鏡片調(diào)節(jié)架。它既可以進(jìn)行鏡片的粗調(diào),又可以進(jìn)行光學(xué)上的精調(diào),一舉兩得。

此外,它也可以用來(lái)單軸或多軸驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等。

粗調(diào)與精調(diào)相結(jié)合的直線壓電螺釘分辨率達(dá)亞納米級(jí)

*單位mm

真空兼容

N82.16K-B1系列壓電螺釘采用了特殊的真空材料、真空兼容引線、連接器等,為真空兼容版本,可在真空中使用。

精調(diào)整位移與電壓曲線

粗調(diào)與精調(diào)相結(jié)合的直線壓電螺釘分辨率達(dá)亞納米級(jí)

推薦控制器

N82系列壓電螺釘?shù)募{米級(jí)精調(diào),推薦使用芯明天E53系列壓電控制器,它的體積小,帶寬可達(dá)10kHz,可選擇模擬數(shù)字信號(hào)進(jìn)行控制。

技術(shù)參數(shù)

宏動(dòng)行程范圍:9.53mm

微動(dòng)行程范圍(0~150V):16μm微動(dòng)驅(qū)動(dòng)電壓:0~150V靜電容量:0.8μF工作溫度:-25~85℃材質(zhì):鋼

審核編輯:湯梓紅

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