磁通門(mén)傳感器是一種綜合性能良好的磁測(cè)量器件，在地磁研究、空間磁場(chǎng)探測(cè)、航空航天、微型衛(wèi)星、微型無(wú)人機(jī)等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。MEMS( Micro Electro HMechanical Systems)技術(shù)發(fā)展所催生出的微型器件中，微型磁通門(mén)因其尺寸小，易集成等等優(yōu)點(diǎn),率先得到了使用。然而微型磁通門(mén)的尺寸雖然得到有效縮減,但性能指標(biāo)也出現(xiàn)了明顯降低。為了更好的推廣微型磁通門(mén)，需要分析其性能指標(biāo)的影響因素，尋求提高其綜合性能。

對(duì)鐵芯結(jié)構(gòu)的改進(jìn)有利于提高微型磁通門(mén)傳感器的性能,采用MEMS工藝制備了多孔鐵芯結(jié)構(gòu)微型磁通門(mén)，并對(duì)所制備的微型磁通門(mén)進(jìn)行主要的工作參數(shù)和性能指標(biāo)的綜合測(cè)試。微型磁通門(mén)性能測(cè)試平臺(tái)的原理如圖所示。需要用到的實(shí)驗(yàn)儀器有：信號(hào)發(fā)生器，功率放大器，磁強(qiáng)計(jì)，電流表，頻譜分析儀等。

所需的激勵(lì)信號(hào)由任意信號(hào)發(fā)生器和功率放大器級(jí)聯(lián)產(chǎn)生。電流表串聯(lián)在激勵(lì)回路中,測(cè)量激勵(lì)電流的大小。直流電源激勵(lì)螺線管產(chǎn)生被測(cè)外部磁場(chǎng),螺線管電流大小由電流表指示。微型磁通門(mén)的感應(yīng)線圈兩端與示波器相連，分析輸出的電壓信號(hào)。

Aigtek功率放大器被廣泛的應(yīng)用在微型磁通門(mén)性能綜合測(cè)試中，通過(guò)對(duì)微型磁通門(mén)進(jìn)行主要的工作參數(shù)和性能指標(biāo)的綜合測(cè)試，分析激勵(lì)電流和激勵(lì)頻率對(duì)靈敏度、線性范圍、噪聲、剩磁誤差等性能指標(biāo)的影響規(guī)律。對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分析結(jié)論為傳感器選擇合適工作參數(shù)提供了數(shù)據(jù)支持。為更好的進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)提供了條件。

安泰電子功率放大器系列最大輸出電壓10KV,最大輸出功率10KW，最大輸出電流64Ap，帶寬（-3dB）高達(dá)DC~25MHz，電壓增益數(shù)控可調(diào)。滿足不同實(shí)驗(yàn)指標(biāo)的需求。

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審核編輯：湯梓紅