四探針?lè)ㄍǔＳ脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率。四探針?lè)y(cè)量電阻率有個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn)，它不需要較準(zhǔn)；有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針?lè)ㄝ^準(zhǔn)。

與四探針?lè)ㄏ啾?，傳統(tǒng)的二探針?lè)ǜ奖阈?，因?yàn)樗恍枰僮鲀蓚€(gè)探針，但是處理二探針?lè)ǖ玫降臄?shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一，電阻兩端有兩個(gè)探針接觸，每個(gè)接觸點(diǎn)既測(cè)量電阻兩端的電流值，也測(cè)量了電阻兩端的電壓值。

我們希望確定所測(cè)量的電阻器的電阻值，總電阻值：

RT=V/I=2RW+2RC+RDUT；其中RW是導(dǎo)線電阻，RC是接觸電阻，RDUT所要測(cè)量的電阻器的電阻，顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點(diǎn)接觸法，即四探針?lè)?。如圖二，電流的路徑與圖一中相同，但是測(cè)量電壓使用的是另外兩個(gè)接觸點(diǎn)。盡管電壓計(jì)測(cè)量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓，但由于電壓計(jì)的內(nèi)阻很大，通過(guò)電壓計(jì)的電流非常小，因此，導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計(jì)，測(cè)量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

通過(guò)采用四探針?lè)ㄈ〈结樂(lè)ǎM管電流所走的路徑是一樣的，但由于消除掉了寄生壓降，使得測(cè)量變得精que了。四探針?lè)ㄔ诤髞?lái)，已經(jīng)變得十分普及，命名為四探針?lè)ā?/p>

HEST-800高溫四探針測(cè)試儀器采用四探針雙電測(cè)量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測(cè)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高精que度，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

審核編輯：符乾江