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格芯獲3000萬美元資金,加速硅基氮化鎵產(chǎn)業(yè)化

廠商快訊 ? 2022-10-21 15:33 ? 次閱讀
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據(jù)外媒報(bào)道,格芯(Globalfoundries Inc.)日前獲得3000萬美元的聯(lián)邦資金支持,用于在其位于佛蒙特州的晶圓廠開發(fā)和生產(chǎn)硅基氮化鎵(GaN-on-Si)晶圓,該工廠目前每月可生產(chǎn)超過5萬片晶圓。

報(bào)道顯示,該筆撥款是2022財(cái)年綜合撥款法案的一部分,來自于美國(guó)國(guó)防部可信訪問計(jì)劃辦公室 (TAPO) ,自2019年以來,TAPO一直積極支持軍民兩用硅基氮化鎵技術(shù)研發(fā),新的款項(xiàng)將資助格芯采購設(shè)備并開始在8英寸產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)硅基氮化鎵量產(chǎn)。

與傳統(tǒng)GaN-on-SiC等技術(shù)路線相比,硅基氮化鎵選用的襯底成本與可及性有顯著優(yōu)勢(shì),GaN外延生長(zhǎng)缺陷也顯著降低。

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