來源：半導體芯科技編譯

在2022年IEEE國際超聲學研討會上，納米電子和數(shù)字技術領域的領先研究和創(chuàng)新中心imec展示了與平板顯示器（FPD）工藝技術兼容的壓電微機械超聲波傳感器（pMUT）陣列。該陣列展示了空氣中超過1kPa的聲學壓力，這一壓力水平與實現(xiàn)空氣中觸覺和定向聲音有關。從基于晶圓的工藝轉(zhuǎn)向與FPD兼容的工藝，為pMUT技術在智能手機和汽車儀表盤等新形態(tài)因素中整合未來的空中應用做好了準備，如振動觸覺、飛行時間（3D）感應或手勢識別。這項技術可用于在汽車和消費者應用中創(chuàng)建無觸摸、互動的屏幕，或用于游戲。

超聲波技術可用于為智能系統(tǒng)配備觸覺反饋，使用戶有觸摸感。在空中觸覺的情況下，超聲波產(chǎn)生一個局部壓力場，使用戶在不接觸物體的情況下 "感覺 "到輕盈的感覺。這種應用需要在低超聲波頻率下的高壓。

目前的解決方案包括：一方面，大的標準壓電元件產(chǎn)生相對較高的頻率，阻礙了與用戶的精確互動。另一方面，小型硅基微機械傳感器陣列僅在小范圍內(nèi)實現(xiàn)短距離的觸覺反饋。我們與FPD兼容的薄膜pMUT技術在本質(zhì)上與顯示器制造技術更加兼容。因此，它為未來領域和深度經(jīng)驗的應用鋪平了道路。

Imec的這款FPD兼容薄膜pMUT陣列，現(xiàn)在填補了大量中空應用的低頻、高壓設備的空白。我們在200至400KHz的諧振頻率范圍內(nèi)展示了空氣中約1.5KpPa的峰值壓力，復制了在其基于硅晶圓平臺上成功展示的中空觸覺反饋的性能指標。

"目前，我們?yōu)楦信d趣的各方提供FPD技術的晶圓級演示和原型解決方案。此外，我們正在尋找大規(guī)模生產(chǎn)大尺寸面板和板材的合作伙伴關系，”imec MEMS超聲項目總監(jiān)Erwin Hijzen說。

"將我們的pMUT技術整合到大型面板和顯示器中的可能性，是我們實現(xiàn)大尺寸傳感器表面愿景的一個關鍵里程碑。我們從用于體內(nèi)成像的超聲傳感器開始，現(xiàn)在轉(zhuǎn)移到空氣中的應用，如觸覺。" imec的傳感器和執(zhí)行器研究員Xavier Rottenberg總結道。

審核編輯 黃昊宇