電子工業(yè)是中國經(jīng)濟現(xiàn)代化不可或缺的支撐力，以集成電路為代表的半導體芯片制造業(yè)是電子工業(yè)發(fā)展的基礎和核心。芯片性能與工藝技術和設計的嚴格性、合理性和先進性密切相關，芯片的可靠性和成品率與加工制造環(huán)境的潔凈度和材料的純度有關，特別是隨著納米加工技術的不斷發(fā)展和廣泛應用，超凈環(huán)境和超純材料已成為半導體工業(yè)進步和創(chuàng)新的關鍵。

潔凈廠房的標準

《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2013年制定：無塵室空氣懸浮顆粒濃度可控，減少室內(nèi)滯留和產(chǎn)生的粉塵顆粒數(shù)量，凈化區(qū)溫濕度等相關參數(shù)可控。根據(jù)空氣中的不同工藝，需要不同的凈化等級和施工標準≥0.5μm/0.1μm潔凈室的顆粒數(shù)分為十級、百級、千級、萬級、十萬級。

國內(nèi)現(xiàn)行標準一般有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等等，根據(jù)這些要求測量和計算特定顆粒，對潔凈室和潔凈區(qū)域的潔凈度進行分級。根據(jù)生產(chǎn)工藝和機械設備的實際需要，合理選擇最佳凈化水平，降低施工成本，資源能耗是凈化設計的基本目標。

凈化空調(diào)控制

半導體廠房凈化空調(diào)控制系統(tǒng)是潔凈車間建設的重要組成部分。工廠各種生產(chǎn)工藝的正常運行依賴于高質(zhì)量的潔凈環(huán)境。能迪科技canlead?凈化空調(diào)控制系統(tǒng)是一套智能中央空調(diào)自動控制系統(tǒng)（PLC）、自動控制車間的溫度、濕度和壓力等，使其穩(wěn)定高效地運行，從而滿足潔凈車間的設計要求。

控制凈化車間濕度和壓力

凈化車間的濕度和壓力主要取決于新風機組，采用新風機組PLC控制，整個空氣處理過程根據(jù)室外空氣溫度分為三個區(qū)域：當室外空氣濕度為9.72g/kg干空氣時，空調(diào)機組冷盤管會除濕空氣，然后根據(jù)冷卻溫度調(diào)整電動水閥的開度，確?？諝饴饵c值穩(wěn)定；室外氣體含濕量小于9.72g/kg，濕球溫度大于9.53℃當空氣冷卻加濕時，通過空氣露點溫度值調(diào)整制冷盤管電動水閥的開度，控制加濕器的加濕量；當室外空氣的絕對濕度小于9.72g/kg，濕球溫度小于9.53℃加熱和加濕空氣時，通過出風露點溫度自動調(diào)節(jié)加熱盤管電動閥的開度PLC控制器根據(jù)出風空氣的含濕量值，控制加濕器的加濕量。具體控制參數(shù)應根據(jù)各實例和工藝要求進行適當調(diào)整，盡可能找到滿足各工藝要求、最節(jié)能的控制點。

新風機組壓差和加濕器控制

根據(jù)送風主管壓力信號，通過變頻器調(diào)整風機轉(zhuǎn)速，確保送風主管靜壓；通過調(diào)整相應的新風支管電動風閥，實現(xiàn)室內(nèi)各區(qū)域所需的壓差值。

車間溫度控制

車間溫度主要由干盤管承擔，PLC控制器根據(jù)潔凈室各區(qū)域溫度傳感器的平均值，調(diào)整不同區(qū)域干盤管電動閥的開度，確保該區(qū)域溫度的恒定值。自動控制在滿足工藝需求的同時，盡可能及時調(diào)整和降低能耗。

推進中國半導體材料國產(chǎn)化

在國家鼓勵半導體材料國產(chǎn)化的政策指導下，我國半導體材料制造商不斷提高半導體產(chǎn)品的技術水平和研發(fā)能力，以及能迪科技canlead?凈化空調(diào)控制系統(tǒng)將成為半導體行業(yè)快速發(fā)展的助推器，逐步打破國外半導體制造商的壟斷格局，促進中國半導體材料國產(chǎn)化進程。

審核編輯黃昊宇