什么是超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)？

超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)是一門集精密機(jī)械、精密控制、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密測量、精密集成技術(shù)于一體，實(shí)現(xiàn)在納米精度范圍內(nèi)的運(yùn)動(dòng)控制的綜合技術(shù)，也是三英精控最主要的核心技術(shù)。

該技術(shù)有什么創(chuàng)新點(diǎn)？能為客戶創(chuàng)造什么價(jià)值？

公司技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)體現(xiàn)在四個(gè)方面：一是超精密運(yùn)動(dòng)控制平臺機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方法；二是超精密伺服先進(jìn)控制算法；三是核心部件的研發(fā)；四是系統(tǒng)標(biāo)定與誤差補(bǔ)償技術(shù)。

在技術(shù)成熟性論證方面：針對納米材料、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、生命科學(xué)、精密制造、計(jì)量測試技術(shù)等領(lǐng)域的需求，攻克了設(shè)計(jì)與制造、組裝與校準(zhǔn)等難點(diǎn)問題，突破了納米位移臺有限元優(yōu)化設(shè)計(jì)、高精度位移傳感器、制造組裝工藝、高級控制算法、搭建測試校準(zhǔn)平臺等關(guān)鍵技術(shù)，整體技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，個(gè)別技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。該技術(shù)成果已通過了中國計(jì)量科學(xué)研究院的驗(yàn)證；公司牽頭承擔(dān)了兩項(xiàng)國家科技部項(xiàng)目，其中一項(xiàng)已圓滿完成，得到科技部的認(rèn)可和高度評價(jià)。

在應(yīng)用方面：半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的加工、檢測設(shè)備；LCD/LED及其它顯示器制造設(shè)備；激光加工設(shè)備；生物醫(yī)學(xué)顯微鏡和操作儀器；衛(wèi)星激光通訊核心器件；廣泛應(yīng)用于各類精密機(jī)床、航空航天以及國防軍工業(yè)等。

在競爭力方面：公司的核心技術(shù)路線符合“中國制造2025”規(guī)劃的發(fā)展方向，是國產(chǎn)替代的關(guān)鍵點(diǎn)之一。并且公司參與制定了兩個(gè)國家標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 38616-2020《納米定位與掃描平臺術(shù)語》和GB/T38614-2020《基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺測量方法》。均已于2020年11月實(shí)施。

三英精控相關(guān)產(chǎn)品

公司基于超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)開發(fā)的產(chǎn)品有：納米位移定位平臺系列產(chǎn)品、納米位移電容傳感器系列產(chǎn)品、納米擺角臺系列等。

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