昊衡科技自主研發(fā)以OFDR為核心的高分辨光學鏈路診斷儀OCI，具有超高空間分辨率，能精確測量回損、插損和光譜等參數(shù)，其事件點定位精度高達0.1mm，廣泛應用于光器件、光模塊、硅光芯片等內(nèi)部鏈路反射情況測量，以下為一組硅發(fā)射芯片測量。

硅發(fā)射芯片主要組件有一維光柵耦合器，可變光衰減器，強度調(diào)制器和偏振調(diào)制器。將芯片和OCI1500連接，進行反射率分布測量。

圖1. 硅發(fā)射芯片鏈路示意圖

在10μm空間分辨率下獲得測試結(jié)果，其中存在多個反射峰，且與芯片內(nèi)部器件一一對應。為確定反射峰位置，在調(diào)制器上施加信號，對反射峰的變化情況進行觀察和分析，得到最終分析結(jié)果。

圖2.硅發(fā)射芯片10μm測試結(jié)果 從上述結(jié)果可以看出，高分辨光學鏈路診斷儀（OCI）可實現(xiàn)對芯片內(nèi)各器件的識別、定位及回損測量。OCI設備在芯片前期研發(fā)以及后期產(chǎn)線產(chǎn)品批量合格檢測中，可起到關鍵性作用。昊衡由衷希望，國產(chǎn)OFDR技術助力國產(chǎn)化芯片制造，加速硅光芯片項目開發(fā)、測試與生產(chǎn)。

昊衡科技

一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技公司，專業(yè)從事工業(yè)級自校準光學測量與傳感技術開發(fā)，也是一家實現(xiàn)OFDR技術商用化的公司。 目前，昊衡科技已推出多款高精度高分辨率產(chǎn)品，主要應用于光學鏈路診斷、光學多參數(shù)測量、高精度分布式光纖溫度和應變傳感測試。已與全球多個國家和地區(qū)企業(yè)建立良好的合作關系，并取得諸多成果。