在半導(dǎo)體行業(yè)中工業(yè)靜電有哪些危害？
眾所周知，靜電是無(wú)處不在，無(wú)時(shí)不刻都在發(fā)生的，上一秒消除下一秒它又產(chǎn)生，從生活中的靜電到工業(yè)靜電，皆是如此。而在眾多工業(yè)領(lǐng)域中，靜電對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程產(chǎn)生的影響額外明顯，所以半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)靜電的防護(hù)要求也比其他行業(yè)要高，那么靜電對(duì)其的危害具體體現(xiàn)在哪些方面呢？
一、MOS結(jié)構(gòu)元器件，由靜電過(guò)高引起的介質(zhì)擊穿，造成短路
二、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)元器件，由過(guò)熱引起的微等離子區(qū)二次擊穿
三、膜電阻器結(jié)構(gòu)元器件，由介質(zhì)擊穿形成新的電流通路
四、金屬化條結(jié)構(gòu)（IC），靜電造成與焦耳熱有關(guān)的開(kāi)路
五、壓電晶體結(jié)構(gòu)元器件，由靜電干擾引起機(jī)械壓力震蕩過(guò)大，造成晶體斷裂
ESD智能實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其中的靜電壓傳感器正是發(fā)現(xiàn)靜電的利器，多種sensor可選。
審核編輯黃宇
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