表面粗糙度儀有很多種，具體選擇要根據(jù)工件的尺寸大小、材質(zhì)、粗糙度值來選擇。

一般來說粗糙度儀分為接觸式和非接觸式兩種，接觸式又有臺式和便攜式兩種，接觸式輪廓儀在機械制造行業(yè)應用很常見；非接觸式主要是白光干涉儀，白光干涉儀精度*高，可以達到0.1納米，主要用于超精密表面粗糙度測量，在半導體行業(yè)、3C行業(yè)、光學以及高等院校應用較多。

• 臺式粗糙度儀

SJ570臺式粗糙度儀是一款可大量程全自動的粗糙度測量儀器；采用進口高精度電感測量系統(tǒng)、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線電機、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度進行測量和分析。通過高精度研磨導軌、高性能直線電機保證測量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進口高精度電感測量系統(tǒng)建立工件表面的二維坐標，描繪出真實的原始輪廓，再按照標準對工件表面的粗糙度進行各種參數(shù)分析。

主要技術(shù)指標：

測量范圍：X軸200mm，Z1軸800μm

直線度誤差: 0.15μm/20mm，0.5μm/200mm

示值誤差：±5%

分辨率：Z1軸0.001μm

測量速度：0.5 mm/s 、0.1 mm/s、0.05mm/S可調(diào)

• 便攜式粗糙度儀

SJ325便攜式粗糙度儀廣泛應用于機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金等行業(yè)。

適用于軸類和殼體類零件

適用于大型機械和大型工件

適用于小型研磨件

適用于產(chǎn)線或直接在機器上測量

適用于各種工件表面的快速檢測

• 白光干涉儀

SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。