激光干涉儀與光刻機(jī)的緣分
光刻機(jī)是集成電路生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備之一，在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中占據(jù)重要的地位。高精度的工作臺(tái)作為光刻機(jī)核心部件之一，其運(yùn)動(dòng)性能和定位精度決定了光刻工藝所能實(shí)現(xiàn)的線寬和產(chǎn)率。
光刻機(jī)的工作臺(tái)是一個(gè)六自由度的運(yùn)動(dòng)臺(tái)，其中X/Y向運(yùn)動(dòng)臺(tái)是的核心基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重復(fù)）精度（Linear Positioning）的關(guān)鍵，是后續(xù)實(shí)現(xiàn)六自由度的控制的基石，是多層曝光對(duì)準(zhǔn)精度的源頭。
本次利用SJ6000激光干涉儀檢測(cè)一臺(tái)光刻機(jī)XY軸的角擺和直線度，部分結(jié)果如下：
Y軸Vertical Straightness測(cè)量
X軸Pitch測(cè)量
X軸測(cè)量軸長(zhǎng)225mm，其中垂直直線度測(cè)得結(jié)果0.58μm。
Y軸測(cè)量軸長(zhǎng)600mm，測(cè)得角度Yaw結(jié)果0.86″。
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