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10.8.3 體硅微加工工藝∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-05-24 16:53 ? 次閱讀
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Bulk-Si Micromachining Technology

審稿人:北京大學(xué) 王瑋

審稿人:北京大學(xué) 張興 蔡一茂

https://www.pku.edu.cn

10.8 集成微系統(tǒng)技術(shù)

第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展

《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊(cè)

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