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6.4.1.2 SiC上的肖特基接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-24 10:22 ? 次閱讀
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6.4.1.2 SiC上的肖特基接觸

6.4.1 n型和p型SiC的肖特基接觸

6.4 金屬化

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

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