白光干涉儀能測哪些三維形貌？
中圖儀器SuperView W1白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1白光干涉儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
白光干涉儀三維形貌測量
半導(dǎo)體-輪廓尺寸測量
超光滑透鏡測量
超精密模具
超精密加工
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
白光干涉儀
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
237瀏覽量
3421
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
[VirtualLab] 用于光學(xué)檢測的斐索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業(yè)上常見的光學(xué)計量設(shè)備，通常用于高精度測試光學(xué)表面的質(zhì)量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下，我們建立了一個Fizeau干涉儀，并將其用于測試不同的光學(xué)表面
發(fā)表于 04-08 08:38
白光干涉儀在光通信行業(yè)的高速測量應(yīng)用：實(shí)現(xiàn)單片晶圓數(shù)萬點(diǎn)位的自動三維重建 #白光干涉儀 #中圖儀器 #光通信
干涉儀
中圖儀器
發(fā)布于 :2026年03月23日 16:45:32
共聚焦顯微鏡與白光干涉儀的區(qū)別解析
在微觀形貌表征與三維精密測量領(lǐng)域，白光干涉儀和共聚焦顯微鏡作為兩種核心的非接觸式光學(xué)儀器，被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造及生命科學(xué)研究中。盡管二者均能實(shí)現(xiàn)表面
晶圓表面的納米級缺陷光學(xué)3D輪廓測量-3D白光干涉儀
失真、薄膜沉積不均，進(jìn)而引發(fā)器件漏電、功能失效。傳統(tǒng)二維測量方法難以精準(zhǔn)捕捉納米級缺陷的三維輪廓特征，無法滿足先進(jìn)制程晶圓的嚴(yán)苛質(zhì)量管控需求。3D白光干涉儀憑借非接觸測量特性、亞納米級
納米壓印的光柵圖形形貌3D測量-3D白光干涉儀應(yīng)用
形貌參數(shù)，直接決定其光學(xué)衍射效率、偏振特性等核心性能，需實(shí)現(xiàn)納米級精度的全面表征。3D白光干涉儀憑借非接觸測量、納米級分辨率及全域三維形貌重
以設(shè)計鑄品質(zhì)！優(yōu)可測白光干涉儀AM-8000榮膺2025德國紅點(diǎn)獎
優(yōu)可測白光干涉儀AM-8000打破了傳統(tǒng)精密儀器“輕設(shè)計” 的固有認(rèn)知，憑借技術(shù)沉淀與創(chuàng)新設(shè)計，斬獲2025德國紅點(diǎn)獎！
白光干涉儀與激光干涉儀的區(qū)別及應(yīng)用解析
在精密測量領(lǐng)域，干涉儀作為基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)高精度檢測的儀器，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)制造、科研實(shí)驗等場景。其中，白光干涉儀與激光干涉儀是兩類具有
白光干涉儀與原子力顯微鏡測試粗糙度的區(qū)別解析
表面粗糙度作為衡量材料表面微觀形貌的關(guān)鍵指標(biāo)，其精準(zhǔn)測量在精密制造、材料科學(xué)等領(lǐng)域具有重要意義。白光干涉儀與原子力顯微鏡（AFM）是兩類常用的粗糙度測試工具，二者基于不同的測量原理，在測試范圍、精度及適用性上存在顯著差異。明確這
白光干涉儀在晶圓光刻圖形 3D 輪廓測量中的應(yīng)用解析
測量方法中，掃描電鏡需真空環(huán)境且無法直接獲取高度信息，原子力顯微鏡效率低難以覆蓋大面積檢測。白光干涉儀憑借非接觸、高精度、快速三維成像的特性，成為光刻圖形測量的核心工具，為光刻膠涂覆、曝光、顯影等工藝的參數(shù)優(yōu)化
白光干涉儀在太陽能電池片柵線高度 3D 輪廓測量中的應(yīng)用解析
），傳統(tǒng)測量方法（如光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡）難以同時實(shí)現(xiàn)非接觸、高精度的三維輪廓表征。白光干涉儀憑借納米級垂直分辨率和快速三維成像能力，成為柵線高度及輪廓測量的核心技術(shù)手段，為電池片制造
白光干涉儀可以測量什么？精準(zhǔn)測量粗糙度、臺階高度、形貌、平面度、膜厚、PV、曲率#優(yōu)可測 #優(yōu)可測白光干涉儀
干涉儀
優(yōu)可測
發(fā)布于 :2025年08月07日 09:12:38
引進(jìn)白光干涉儀管控微流控芯片形貌，性能大幅提升
白光干涉儀納米級管控微流控芯片表面粗糙度，以及微流道高度和寬度，提升微流控產(chǎn)品性能與質(zhì)量，滿足不同客戶需求。
VirtualLab Fusion：用于光學(xué)檢測的斐索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業(yè)上常見的光學(xué)計量設(shè)備，通常用于高精度測試光學(xué)表面的質(zhì)量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下，我們建立了一個Fizeau干涉儀，并將其用于測試不同的光學(xué)表面
發(fā)表于 05-28 08:48
優(yōu)可測白光干涉儀AM系列：量化管控納米級粗糙度，位移傳感器關(guān)鍵零件壽命提升50%
位移傳感器模組的編碼盤，其粗糙度及碼道的刻蝕深度和寬度，會對性能帶來關(guān)鍵性影響。優(yōu)可測白光干涉儀精確測量表面粗糙度以及刻蝕形貌尺寸，精度最高可達(dá)亞納米級，解決產(chǎn)品工藝特性以及量化管控。
評論