垂直度的測(cè)量是直線(xiàn)度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)機(jī)床線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)。

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線(xiàn)度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交軸分別進(jìn)行直線(xiàn)度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線(xiàn)度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線(xiàn)度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線(xiàn)度反射鏡。

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

SJ6000激光干涉儀應(yīng)用范圍廣：
①可以實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)；
②結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析；
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。