三坐標測量機是一種用途很廣的高精度儀器。隨著坐標測量機運行速度的加快，動態(tài)誤差往往比靜態(tài)或準靜態(tài)誤差對測量精度的影響更大。由于在測量過程中的加、減速度明顯加大，測量機各結(jié)構(gòu)件的分布質(zhì)量產(chǎn)生的慣性力造成了機構(gòu)的變形。在高速測量過程中，還必然會產(chǎn)生自激振動和受迫振動。此外，由于測量機的各運動部件的連結(jié)處都采用了剛度較低的氣浮導(dǎo)軌支承，在加速或減速運動過程中，其動態(tài)特性也會發(fā)生明顯的變化。所有這些都是產(chǎn)生動態(tài)誤差的根源。充分認識三坐標測量機的動態(tài)/靜態(tài)特性和動態(tài)/靜態(tài)誤差的構(gòu)成及大小對于進行三坐標測量機誤差補償和改進測量機結(jié)構(gòu)設(shè)計都有重要的意義。

SJ6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數(shù)控機床、自動化設(shè)備、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數(shù)控機床、三坐標測量機的精度補償。