三坐標(biāo)測量機(jī)是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在X、Y、Z三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的儀器。是在三維可測的空間范圍內(nèi)，能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)探測工件，返回工件表面的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)（如Rational DIMS三坐標(biāo)測量軟件）計(jì)算各類幾何形狀、尺寸等測量能力的儀器。

三坐標(biāo)測量機(jī)在對工件進(jìn)行測量時，會遇見多種多樣、各種形狀的工件。任何形狀都是由空間點(diǎn)組成的，所有的幾何量測量都可以歸結(jié)為空間點(diǎn)的測量，因此精確進(jìn)行空間點(diǎn)坐標(biāo)的采集，是評定任何幾何形狀的基礎(chǔ)。原理是將被測零件放入它允許的測量空間，精確的測出被測零件表面的點(diǎn)在空間三個坐標(biāo)位置的數(shù)值，將這些點(diǎn)的坐標(biāo)數(shù)值經(jīng)過計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經(jīng)過數(shù)學(xué)計(jì)算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)。