來源：《半導(dǎo)體芯科技》編譯

微型掃描儀體積小、重量輕、能效高，是移動場景應(yīng)用的理想選擇。Fraunhofer IPMS已開發(fā)出200多種不同的微型掃描儀，以滿足客戶的特定要求。服務(wù)范圍涵蓋整個價值鏈，從設(shè)計和原型開發(fā)到在自己的無塵室進(jìn)行8英寸晶圓試生產(chǎn)。Fraunhofer IPMS不斷擴(kuò)大掃描鏡技術(shù)的應(yīng)用范圍，提供新穎的專利設(shè)計方案和技術(shù)模塊，并集成人工智能。

△微型掃描儀在醫(yī)療技術(shù)中潛力巨大

微型掃描儀是一種微小的光學(xué)元件，可以使微小的鏡面繞一個或多個軸線偏轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)非?？焖俸途_的掃描或投影。其非接觸式操作、體積小、重量輕、能效高，為醫(yī)療技術(shù)開辟了新的可能性。微型掃描儀的醫(yī)療應(yīng)用包括醫(yī)用內(nèi)窺鏡、共聚焦顯微鏡、熒光顯微鏡、光譜儀和眼科的圖像采集。

Fraunhofer IPMS的微型掃描儀具有掃描角度大、掃描頻率高以及長期穩(wěn)定性好的特點。該研究所的服務(wù)還包括支持客戶開發(fā)用于可控高精度驅(qū)動的特定模塊設(shè)置和電子解決方案。特別是對于中小型企業(yè)來說，F(xiàn)raunhofer研究所提供的各種評估套件使他們有可能將微型掃描儀技術(shù)集成到其產(chǎn)品開發(fā)中，而無需耗費大量時間和成本在內(nèi)部開發(fā)符合規(guī)范的控制電子設(shè)備。

Fraunhofer IPMS 微型掃描儀在醫(yī)療技術(shù)中的應(yīng)用

近年來，F(xiàn)raunhofer IPMS已經(jīng)能夠?qū)ζ湎惹盀榭蛻糸_發(fā)的微型掃描儀進(jìn)行驗證，以便將其集成到客戶的產(chǎn)品中。因此，這些設(shè)備在實際應(yīng)用中證明了它們的價值。

例如，幾年前，F(xiàn)raunhofer IPMS開發(fā)了雙諧振MEMS掃描儀，構(gòu)成了數(shù)字化牙科用緊湊型X射線膠片掃描儀的核心。這些微型掃描儀在公司內(nèi)部的無塵室中通過了客戶產(chǎn)品認(rèn)證，作為試生產(chǎn)的一部分，年產(chǎn)量可達(dá)數(shù)千臺。在專門開發(fā)的集成電子元件載體上進(jìn)行組裝以及隨后的測試也在Fraunhofer IPMS進(jìn)行。研究所的ISO 9001認(rèn)證保證了Fraunhofer IPMS的質(zhì)量符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

Fraunhofer IPMS醫(yī)療技術(shù)的其他應(yīng)用還包括為Norlase公司開發(fā)激光掃描儀，用于眼科治療視網(wǎng)膜和青光眼患者。通過使用Fraunhofer IPMS的MEMS掃描儀，系統(tǒng)實現(xiàn)了前所未有的小型化和高分辨率。

該研究所正在為新成立的Envision Diagnostics公司開發(fā)用于標(biāo)準(zhǔn)化、快速和可靠的眼科檢查的微型掃描儀，該檢查可記錄、評估和顯示所有質(zhì)量參數(shù)。這將為醫(yī)生提供更全面、更可靠的患者數(shù)據(jù)，使他們能夠做出更安全的決策。

Fraunhofer IPMS顯微掃描鏡在顯微鏡中的應(yīng)用

顯微掃描鏡在醫(yī)學(xué)顯微鏡中也有很多應(yīng)用。借助光學(xué)相干斷層掃描技術(shù)，可以對物體的表面和深度結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析，分辨率可達(dá)微米級。Fraunhofer IPMS公司生產(chǎn)的微掃描鏡能夠記錄一種新型的環(huán)境參數(shù)，用于腫瘤輪廓的新型激光掃描顯微鏡的核心部件。這使得癌癥手術(shù)更快、更精確、更安全。在手術(shù)室中，外科醫(yī)生可以使用顯微鏡檢查剛剛切除腫瘤的組織。事先涂抹的熒光標(biāo)記使切口后殘留的癌細(xì)胞清晰可見。這樣就可以完全、精確地切除這些癌細(xì)胞。由于顯微鏡能準(zhǔn)確顯示健康組織的起始位置，因此周圍組織不會受到影響。而且無需等待實驗室結(jié)果。

ZEISS公司的ZEISS Lattice Lightsheet 7被德國總統(tǒng)授予2022年德國未來獎，它也使用了 Fraunhofer IPMS的微型掃描儀技術(shù)。用于對活細(xì)胞進(jìn)行平滑3D成像的顯微鏡系統(tǒng)使用了該研究所開發(fā)的光偏轉(zhuǎn)立方體（LDC）掃描儀模塊。該模塊已通過認(rèn)證，并作為當(dāng)前產(chǎn)品試產(chǎn)的一部分提供給客戶ZEISS公司。

審核編輯 黃宇